[实用新型]洁净间送风系统有效

专利信息
申请号: 202220118034.0 申请日: 2022-01-17
公开(公告)号: CN216868726U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 邬蕊;刘晓明;王楠 申请(专利权)人: 北京燕东微电子科技有限公司
主分类号: F24F7/003 分类号: F24F7/003;F24F7/08;F24F8/108;F24F13/28;F24F13/30;F24F13/02;F24F13/24
代理公司: 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 代理人: 王乾旭;赵红凯
地址: 100176 北京市大兴区北京经*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 洁净 送风 系统
【权利要求书】:

1.一种洁净间送风系统,应用于洁净厂房,所述洁净厂房包括:从上至下依次布设且连通的上夹层和洁净间,以及设置于洁净间两侧的回风夹道,所述回风夹道分别与所述上夹层和所述洁净间连通;其特征在于,所述洁净间送风系统包括:

送风装置,设置于所述上夹层内,用于为所述洁净间内的空气提供动力;

第一过滤装置,设置于送风装置的出风侧,用于对送风装置排出的空气进行过滤;

冷却装置,设置于所述回风夹道一端,用于对流经的空气进行换热;

第二过滤装置,设置于所述冷却装置的迎风侧或背风侧,用于对流经的空气进行过滤。

2.根据权利要求1所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述冷却装置设置于所述回风夹道的顶端或底端,所述第二过滤装置设置于所述回风夹道内。

3.根据权利要求1所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述洁净厂房还包括位于所述洁净间下的下夹层,所述下夹层分别与所述洁净间、所述回风夹道连通;

所述冷却装置设置于所述回风夹道的底端;所述第二过滤装置设置于所述下夹层或回风夹道内。

4.根据权利要求1所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述冷却装置包括干式冷却盘管。

5.根据权利要求4所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置铺设在冷却装置的迎风侧的表面上;或者,

第二过滤装置固定在冷却装置的背风侧的表面上。

6.根据权利要求5所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置至少部分遮挡所述冷却装置的冷却面。

7.根据权利要求1至6任一项所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置包括:

固定框,固定设置于所述冷却装置的迎风侧或背风侧;

滤网,设置于所述固定框上。

8.根据权利要求7所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述滤网包括过滤棉。

9.根据权利要求1至6任一项所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置用于拦截直径大于等于0.3微米的颗粒。

10.根据权利要求1至6任一项所述的洁净间送风系统,其特征在于,还包括新风机组,所述新风机组的新风管道与所述回风夹道连通。

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