[实用新型]洁净间送风系统有效
申请号: | 202220118034.0 | 申请日: | 2022-01-17 |
公开(公告)号: | CN216868726U | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 邬蕊;刘晓明;王楠 | 申请(专利权)人: | 北京燕东微电子科技有限公司 |
主分类号: | F24F7/003 | 分类号: | F24F7/003;F24F7/08;F24F8/108;F24F13/28;F24F13/30;F24F13/02;F24F13/24 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 王乾旭;赵红凯 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 洁净 送风 系统 | ||
1.一种洁净间送风系统,应用于洁净厂房,所述洁净厂房包括:从上至下依次布设且连通的上夹层和洁净间,以及设置于洁净间两侧的回风夹道,所述回风夹道分别与所述上夹层和所述洁净间连通;其特征在于,所述洁净间送风系统包括:
送风装置,设置于所述上夹层内,用于为所述洁净间内的空气提供动力;
第一过滤装置,设置于送风装置的出风侧,用于对送风装置排出的空气进行过滤;
冷却装置,设置于所述回风夹道一端,用于对流经的空气进行换热;
第二过滤装置,设置于所述冷却装置的迎风侧或背风侧,用于对流经的空气进行过滤。
2.根据权利要求1所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述冷却装置设置于所述回风夹道的顶端或底端,所述第二过滤装置设置于所述回风夹道内。
3.根据权利要求1所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述洁净厂房还包括位于所述洁净间下的下夹层,所述下夹层分别与所述洁净间、所述回风夹道连通;
所述冷却装置设置于所述回风夹道的底端;所述第二过滤装置设置于所述下夹层或回风夹道内。
4.根据权利要求1所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述冷却装置包括干式冷却盘管。
5.根据权利要求4所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置铺设在冷却装置的迎风侧的表面上;或者,
第二过滤装置固定在冷却装置的背风侧的表面上。
6.根据权利要求5所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置至少部分遮挡所述冷却装置的冷却面。
7.根据权利要求1至6任一项所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置包括:
固定框,固定设置于所述冷却装置的迎风侧或背风侧;
滤网,设置于所述固定框上。
8.根据权利要求7所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述滤网包括过滤棉。
9.根据权利要求1至6任一项所述的洁净间送风系统,其特征在于,所述第二过滤装置用于拦截直径大于等于0.3微米的颗粒。
10.根据权利要求1至6任一项所述的洁净间送风系统,其特征在于,还包括新风机组,所述新风机组的新风管道与所述回风夹道连通。
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