[实用新型]一种激光同轴加工光学系统

权利要求书

1.一种激光同轴加工光学系统，其特征在于，包括加工组件、成像组件和合束镜；

所述加工组件包括激光发生模组和第一调节模组，所述激光发生模组用于发射激光，所述激光依次经过所述第一调节模组和所述合束镜而作用于物件；

所述成像组件包括光源模组、分束镜和成像模组，所述光源模组用于发射成像光，所述成像光依次经过所述分束镜和所述合束镜后作用于所述物件而形成反射光，所述反射光依次经过所述合束镜和所述分束镜而射入所述成像模组；

所述合束镜对作用于所述物件的所述激光和所述成像光进行同轴合束。

2.根据权利要求1所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述第一调节模组包括：

第一透镜组，其位于所述激光的光路上；

第一直线驱动单元，其与所述第一透镜组连接。

3.根据权利要求1所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述第一调节模组包括：

多个第一透镜组；

第一转动架，多个所述第一透镜组均与所述第一转动架连接；

第一驱动件，其与所述第一转动架驱动连接。

4.根据权利要求2或3所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述第一透镜组包括沿光路方向依次设置的：

第一固定组，其包括双凸型正透镜或平凸型正透镜；

第一补偿组，其包括双凹型负透镜；

第一变倍组，其包括平凹型负透镜。

5.根据权利要求1所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述成像组件还包括第二调节模组，所述第二调节模组设于所述反射光的光路上。

6.根据权利要求5所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述第二调节模组包括：

第二透镜组，其位于所述反射光的光路上；

第二直线驱动单元，其与所述第二透镜组连接。

7.根据权利要求5所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述第二调节模组包括：

多个第二透镜组；

第二转动架，多个所述第二透镜组均与所述第二转动架连接；

第二驱动件，其与所述第二转动架驱动连接。

8.根据权利要求6或7所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述第二透镜组包括沿光路方向依次设置的：

第二固定组，其包括双凸型正透镜或平凸型正透镜；

第二补偿组，其包括双凹型负透镜；

第二变倍组，其包括平凹型负透镜。

9.根据权利要求1所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，还包括物镜组件，其包括

多个物镜，其对准加工位置设置；

换位件，所述换位件对多个所述物镜进行切换。

10.根据权利要求9所述的激光同轴加工光学系统，其特征在于，所述换位件包括直线驱动件，多个所述物镜均与所述直线驱动件的运动部连接。