[实用新型]一种可以自动控制的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202220160332.6 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN216614833U 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 王奎;王洪全 申请(专利权)人: 青岛深蓝科创金属制造有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/54
代理公司: 山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙) 37326 代理人: 李勇鹏
地址: 266400 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 可以 自动控制 真空镀膜
【说明书】:

实用新型提供一种可以自动控制的真空镀膜机。所述可以自动控制的真空镀膜机,包括机体;驱动组件,所述驱动组件的底部固定连接于所述机体的顶部;两个连接组件,两个所述连接组件的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件的底部和转动连接于机体内壁的底部。本实用新型提供的可以自动控制的真空镀膜机通过连接组件中组件的配合使用下,使得真空镀膜机在需要对工装架进行拆卸更换的时候能够进行快速的更换,进而提高更换的效率并且节省更换的时间,通过收集组件中组件的配合使用下,使得真空镀膜机能够将在工作过程中使用的惰性气体进行回收,因此避免了资源的浪费节省了成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机领域,尤其涉及一种可以自动控制的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。

在生产制造业中,由于真空镀膜机效率高且便于使用,因此被经常用到对零件的表面进行镀膜,并且随着社会的发展,真空镀膜机逐渐变成可以自动控制的一种设备。

在现有的一些技术中,一部分自动控制的真空镀膜机的工装架不便于拆卸,当使用者需要进行维修更换时,影响维修人员的拆卸效率,并且在现有的一些技术中,一部分真空镀膜机在进行工作的时候会对镀膜机中释放惰性气体,但是这些气体通常使用过后会直接排放掉,这样一来就形成了浪费。

因此,有必要提供一种可以自动控制的真空镀膜机解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种可以自动控制的真空镀膜机,解决了真空镀膜机中的工装架不便进行拆卸和工作时使用的惰性气体浪费的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供的可以自动控制的真空镀膜机,包括机体;

驱动组件,所述驱动组件的底部固定连接于所述机体的顶部;

两个连接组件,两个所述连接组件的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件的底部和转动连接于机体内壁的底部,所述连接组件包括固定外壳,所述固定外壳的底部转动连接于所述机体内壁底部的中部,所述固定外壳的右侧设置有螺纹杆,所述螺纹杆的左侧贯穿所述固定外壳的右侧且延伸至固定外壳内壁的右侧,所述螺纹杆的左侧转动连接于所述固定外壳内壁的左侧,所述螺纹杆周侧面的左侧和右侧均套设有螺纹筒,两个所述螺纹筒的顶部均固定连接有连接杆;

工装架,所述工装架的顶部和底部分别设置于两个所述连接组件相对的一侧;

控制装置,所述控制装置的底部固定连接与所述机体顶部的右侧;

收集组件,所述收集组件的右侧固定连接于所述机体的左侧;

惰性气体进入管,所述惰性气体进入管的底部连通于所述机体顶部的右侧;

抽气管,所述抽气管的左侧连通于所述机体右侧的底部;

箱门组件,所述箱门组件背面的左侧转动连接于所述机体正面的左侧。

优选的,两个所述连接杆的顶部分别贯穿所述固定外壳内壁顶部的左侧和右侧且延伸至固定外壳顶部的左侧和右侧,两个所述连接杆的顶部均固定连接有固定块,两个所述固定块相对的一侧均固定连接有卡块,两个所述卡块的相对的一侧分别贯穿所述工装架左侧和右侧的底部且延伸至所述工装架内壁左侧和右侧的底部。

优选的,所述驱动组件包括电机箱,所述电机箱的底部固定连接于所述机体顶部的中部,所述电机箱内壁的顶部固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出轴贯穿所述电机箱内壁的底部和机体顶部的中部且延伸至机体内壁顶部的中部,所述驱动电机的输出轴固定连接于顶部的所述固定外壳的顶部。

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