[实用新型]一种质谱仪大气压离子源排气装置有效
申请号: | 202220185040.8 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN217009118U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 曹祥宽;尚雪松;张远清;孙慈晶;吴杰;贾颖;凌星;程文播 | 申请(专利权)人: | 天津国科医工科技发展有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/24;H01J49/26 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 贺杰 |
地址: | 300300 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 质谱仪 大气压 离子源 排气装置 | ||
1.一种质谱仪大气压离子源排气装置,包括离子源腔室以及与所述离子源腔室连通的排气口,其特征在于:所述质谱仪大气压离子源排气装置还包括真空发生器、电子调压阀、控制器以及压力传感器,所述真空发生器安装于所述排气口以及所述离子源腔室之间并与所述电子调压阀连接,所述控制器与所述电子调压阀以及所述压力传感器电性连接,所述控制器通过所述压力传感器监测所述离子源腔室内的压力,当所述离子源腔室内压力变化时,所述控制器调节所述电子调压阀出口的压力,以改变所述真空发生器负压口的真空度,从而改变所述排气口的排气速率,使所述离子源腔室内部压力恒定。
2.根据权利要求1所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述质谱仪大气压离子源排气装置还包括废气腔,所述废气腔与所述离子源腔室连通,所述废气腔位于所述离子源腔室以及所述真空发生器之间。
3.根据权利要求2所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述废气腔通过排气系统将废气排出实验室。
4.根据权利要求1所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述压力传感器安装于所述离子源腔室内部。
5.根据权利要求1所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述真空发生器设有进气口、负压口以及出气口,所述进气口与所述电子调压阀连通,所述负压口与所述离子源腔室连通,所述出气口与所述排气口连通。
6.根据权利要求1所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述质谱仪大气压离子源排气装置还包括气源,所述气源与所述电子调压阀连接。
7.根据权利要求1所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述质谱仪大气压离子源排气装置还包括喷雾针,所述喷雾针安装于所述离子源腔室内向所述离子源腔室注入样品和辅助气。
8.根据权利要求1所述的质谱仪大气压离子源排气装置,其特征在于:所述质谱仪大气压离子源排气装置还包括雾化器,所述雾化器安装于所述离子源腔室内向所述离子源腔室注入雾化气。
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