[实用新型]一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架

权利要求书

1.一种光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：包括安装架(1)，分别设置在所述安装架(1)上的下压机构、两个侧面定位机构(6)以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构(6)之间形成用于放置光罩存放盒(16)的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒(16)，两个所述侧面定位机构(6)用于从两侧夹持所述光罩存放盒(16)，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒(16)的盒门(122)。

2.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述开门机构包括设置在所述安装架(1)上的电机(7)和安装于所述电机(7)主轴上的摇臂(8)。

3.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述下压机构包括设置在安装架(1)上的压杆(15)、设置在所述压杆(15)下端的压轮(9)和设置在所述压杆(15)上的扭簧(10)；所述压杆(15)能上下转动，且所述压杆(15)向上转动时能挤压所述扭簧(10)。

4.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述侧面定位机构(6)包括设置在所述安装架(1)上的安装座(61)和设置在所述安装座(61)上的侧面导向轮(62)；两个所述侧面定位机构(6)上的所述侧面导向轮(62)能从两侧夹持所述光罩存放盒(16)。

5.根据权利要求4所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装座(61)上设置有安装槽(65)，所述安装槽(65)内安装有安装块(63)，所述安装块(63)背向所述光罩存放盒(16)一侧与所述安装槽(65)的槽壁之间设置有压缩弹簧(64)；所述侧面导向轮(62)设置于所述安装块(63)上，所述安装块(63)能在所述安装槽(65)内移动，且所述安装块(63)移动时能挤压所述压缩弹簧(64)。

6.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装架(1)的前端设置有前端红外传感器(2)，其后端设置有后端红外传感器(11)。

7.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装架(1)和/或所述侧面定位机构(6)上设置有用于限定所述光罩存放盒(16)前后位置的伸缩气缸(3)和限位柱(5)。

8.根据权利要求1所述的光罩存放盒固定、开启装置，其特征在于：所述安装架(1)或所述侧面定位机构(6)上设置有用于支撑所述光罩存放盒(16)的底部侧面导向轮(4)。

9.一种放置架，其特征在于：包括支架(14)和若干个权利要求1～8任一项所述的光罩存放盒固定、开启装置；所有光罩存放盒固定、开启装置均设置于支架(14)上。