[实用新型]一种晶圆传送盒

权利要求书

1.一种晶圆传送盒，其特征在于，所述晶圆传送盒包括盖体，所述盖体包括彼此相对的两个侧板以及与两个侧板垂直连接的背板，所述背板上设有开口，所述开口处覆盖有电致变色玻璃制成的调光板，通过调节所述调光板的驱动电流以实现所述调光板透明度的调整，所述调光板包括透光状态、遮光状态以及介于透光状态与遮光状态之间的半透光状态。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述背板上装有控制旋钮，用于调节所述调光板的驱动电流，以调节所述调光板的透明度。

3.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述盖体还包括盖板。

4.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述侧板表面固定有把手。

5.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述盖体形成有容置空间，以容纳槽盒，所述盖体及槽盒放置于底座上。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述槽盒包括相对设置的两个侧壁，所述槽盒的两个侧壁上形成有对应设置的晶圆槽，用于支撑晶圆。

7.根据权利要求5所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述背板上开口的高度大于等于所述槽盒的高度。

8.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述调光板与所述背板通过螺钉固定连接，以覆盖所述背板上的开口。