[实用新型]一种气体混合装置及配气系统

权利要求书

1.一种气体混合装置，其特征在于，包括混合腔(13)、测试腔(2)和气体控制装置，所述测试腔(2)的体积小于等于所述混合腔(13)的体积，所述测试腔(2)一端通过循环泵(3)和所述混合腔(13)一端连通，所述测试腔(2)另一端通过流速调节阀(4)和所述混合腔(13)另一端连通，所述测试腔(2)在初始状态下用于存储背景气体，所述气体控制装置通过控制所述循环泵(3)和所述流速调节阀(4)开启以完成所述混合腔(13)和所述测试腔(2)中气体的交换以在所述测试腔(2)生成目标浓度的混合气体，所述混合腔(13)和所述测试腔(2)内均设有气压计(5)，所述气压计(5)用于监控对应腔体中的气体压强。

2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述循环泵(3)上设有加热装置以完成可凝性气体的循环。

3.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述气压计(5)为电容性气压计。

4.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述测试腔(2)内设有气体传感器，所述测试腔(2)用于通过生成目标浓度的混合气体来检测气体传感器。

5.一种配气系统，其特征在于，包括配气组件(1)和如权利要求1-4任一项所述的气体混合装置，所述混合腔(13)用于通过所述配气组件(1)对其进行配气。

6.根据权利要求5所述的配气系统，其特征在于，所述配气组件(1)包括目标气瓶(11)和背景气瓶(12)，所述目标气瓶(11)用于存储目标气体，所述背景气瓶(12)用于存储背景气体，所述目标气瓶(11)通过目标气路(14)和所述混合腔(13)连通，所述背景气瓶(12)通过背景气路(15)和所述混合腔(13)连通，所述目标气路(14)上设有第一阀门(16)，所述背景气路(15)上设有第二阀门(17)。

7.根据权利要求6所述的配气系统，其特征在于，所述第一阀门(16)和所述第二阀门(17)均和所述气体控制装置连接，所述气体控制装置用于根据需要在所述测试腔(2)中生成的混合气中目标气体的浓度、所述混合腔(13)和所述测试腔(2)之间的体积比例得到注入的所述混合腔(13)中目标气体和背景气体的分压以基于目标气体和背景气体的分压控制目标气体和背景气体注入所述混合腔(13)中。

8.根据权利要求6所述的配气系统，其特征在于，所述目标气路(14)和所述背景气路(15)上均设有质量流量控制器(18)。

9.根据权利要求6所述的配气系统，其特征在于，所述配气组件(1)还包括湿度控制腔(7)，所述湿度控制腔(7)用于存储水，所述湿度控制腔(7)外部设有第一加热装置，所述第一加热装置用于对所述湿度控制腔(7)进行加热，所述湿度控制腔(7)通过水蒸气路和所述混合腔(13)连通，所述水蒸气路上设有针阀。

10.根据权利要求9所述的配气系统，其特征在于，所述混合腔(13)和所述测试腔(2)内均设有湿度传感器(8)，所述湿度传感器(8)用于监测对应腔体中气体的湿度。