[实用新型]一种自走式端面监测仪

说明书

本实用新型提供一种自走式端面监测仪，涉及芯片端面监测技术领域，包括检测台，所述检测台两侧设有移动装置，所述移动装置表面设有升降装置，所述升降装置的升降端安装有连接板，所述连接板正面设有转动杆，所述转动杆表面的凹槽内分别设有检测探头和吸附头，所述检测台顶面的凹槽内阵列设有置物箱，所述检测台顶面设有推板，所述检测台顶面放置有回收箱，在对芯片的端面进行平整度或者粗糙度监测时，可自动将监测到的不合格芯片提取回收，等待工作人员集体将不合格的芯片处理，无需人工操作，设备简单，将芯片提取装置与检测探头一体化。

技术领域

本实用新型涉及芯片端面监测技术领域，尤其涉及一种自走式端面监测仪。

背景技术

根据专利号为CN201821284110.5，半导体激光器芯片端面外观的检测系统，包括芯片载体、下视相机、芯片拾取装置、上视相机光源、光学装置以及上视相机；芯片拾取装置将半导体激光器芯片吸取到光学装置指定工作区域，上视相机光源设置在光学装置指定工作区域，为上视相机提供光源，光学装置将半导体激光器芯片的下表面及四侧面放大影像投射到上视相机中，上视相机获取芯片下表面及四侧面的放大成像图。本实用新型通过同轴显微物镜和多个侧面观察棱镜的光路设计，实现半导体激光器芯片多个端面的检测，避免了传统芯片外观检测中芯片旋转或者设置较多的显微镜的处理方法；同时光学装置与上视相机的配合设计，使得本系统结构简单，半导体激光器芯片外观检测效率高。

上述专利介绍了芯片在制作后需要监测芯片端面的情况，如粗糙度、端面平整度等，现有的设备对芯片监测时发现不合格的产品需要通知工作人员将不合格的芯片取出，重新加工处理，操作较为麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种自走式端面监测仪。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种自走式端面监测仪，包括检测台，所述检测台两侧设有移动装置，所述移动装置表面设有升降装置，所述升降装置的升降端安装有连接板，所述连接板正面设有转动杆，所述转动杆表面的凹槽内分别设有检测探头和吸附头，所述检测台顶面的凹槽内阵列设有置物箱，所述检测台顶面设有推板，所述检测台顶面放置有回收箱。

优选的，所述转动杆通过轴承座与连接板正面连接，且检测探头和吸附头的连接端分别与转动杆表面的凹槽螺纹连接。

优选的，所述连接板侧面设有电机，所述电机的转动端和转动杆表面分别安装有齿轮。

优选的，所述电机位于连接板侧面的凹槽内，且电机通过螺栓与连接板固定，且两个齿轮相互啮合。

优选的，所述检测台顶面的凹槽内螺栓固定有气缸，所述气缸的伸缩端安装有存放板，且置物箱放置于存放板的顶面。

优选的，所述推板一端通过螺栓连接有移动块，且移动块位于检测台顶面的凹槽内。

优选的，所述检测台侧面的凹槽内安装有丝杆，且移动块套接于丝杆的表面，且移动块与丝杆活动连接。

有益效果

本实用新型中，将需要监测的芯片分别放入置物箱内，将置物箱放在检测台对应的位置，通过移动装置可带动升降装置进行平移，利用升降装置的伸缩端升降可使连接板上的检测探头升降，使检测探头与芯片端面贴合，检测探头在芯片的端面移动可对芯片的端面进行平整度或者粗糙度情况的监测，当发现不合格的芯片需要取出时，将检测探头上升，由于电机转动端的齿轮与转动杆表面的齿轮相互啮合，电机的转动端工作带动转动杆旋转，转动杆表面的通孔内分别螺纹连接有检测探头和吸附头，转动杆转动180度后将检测探头和吸附头的位置互换，使吸附头的吸附端位于芯片的上方，吸附头下降将不合格的芯片吸附提取，将不合格的芯片放置在准备的回收箱内，等待工作人员集体回收即可，实现了在对芯片的端面进行平整度或者粗糙度监测时，可自动将监测到的不合格芯片提取回收，等待工作人员集体将不合格的芯片处理，无需人工操作，设备简单，将芯片提取装置与检测探头一体化。