[实用新型]三氟化氮提纯装置有效
| 申请号： | 202220245494.X | 申请日： | 2022-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN216677716U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李兴虎;白音努尔;孙学建;王建兵;潘波;王大兵;张石磊 | 申请（专利权）人： | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/68;B01D5/00;C01B21/083 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 张贤 |
| 地址： | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化 提纯 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氟化氮提纯装置，其特征在于：包括吸收罐(1)、进气管(4)、循环增压机(7)、液化罐(15)与气体收集罐(14)，吸收罐(1)内盛有氢氧化钠溶液(3)，进气管(4)插入氢氧化钠溶液(3)内，吸收罐(1)通过第一输气管(5)连接循环增压机(7)的进气口，循环增压机(7)出气口通过第二输气管(8)连接液化罐(15)，液化罐(15)的外侧壁上设有冷凝套(16)，冷凝套(16)上设有冷介质进口(17)与冷介质出口(6)，液化罐(15)的底部设有出液口(18)，出液口(18)上设有出液阀(19)，出液口(18)通过第三输气管(13)连接气体收集罐(14)。
2.根据权利要求1所述的三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述的吸收罐(1)的内侧底部连接有布气盘(2)，进气管(4)连接布气盘(2)的进气口。
3.根据权利要求1所述的三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述的液化罐(15)上设有氮气出口(11)，氮气出口(11)上设有出气阀(12)。
4.根据权利要求1所述的三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述的液化罐(15)上连接有压力表(10)。
5.根据权利要求1所述的三氟化氮提纯装置，其特征在于：所述的液化罐(15)上连接有温度监测器(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乌兰察布南大微电子材料有限公司，未经乌兰察布南大微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220245494.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种手动快速解锁的中排座椅旋转机构
- 下一篇：话筒用充电座和音频设备
