[实用新型]一种三氟化氮制备用液体废料处理装置

说明书

本实用新型提供了一种三氟化氮制备用液体废料处理装置，包括HF回收罐，HF回收罐上设置有废液进口，废液进口分别与冷却器和冷阱的废液出口连通，HF回收罐的顶端设置有第一氮气连通口，HF回收罐的侧端靠近顶部处设置有第二氮气连通口，HF回收罐的顶端另一侧设置有抽真空口，HF回收罐的侧端靠近底部处开设有氮气放空口，HF回收罐的底端设置有HF回收口。本实用新型通过将冷却器和冷阱中收集的HF废液进入到HF回收罐中，在冷却器、冷阱间歇排污的情况下，利用HF回收罐将冷却器、冷阱排污过程中的液相HF全部收集回收，同时实现冷却器、冷阱排污尾气中的HF达标排放，既保证尾气达标排放，符合环保要求，又能降低一定成本，经济实用。

技术领域

本实用新型属于三氟化氮生产废液处理装置技术领域，具体涉及一种三氟化氮制备用液体废料处理装置。

背景技术

三氟化氮电解气是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用三氟化氮和四氟甲烷以及氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与三氟化氮反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是三氟化氮在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，三氟化氮与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。还能用作高能燃料。

三氟化氮电解气中含有约10％的HF，按照目前工艺，该部分HF主要通过NF3电解气预纯化工段的冷却器、冷阱排污管道进入综合三废排污塔进行中和处理，不能有效的进行回收处理，容易造成大量的资源浪费。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种三氟化氮制备用液体废料处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种三氟化氮制备用液体废料处理装置，包括HF回收罐，所述HF回收罐上设置有废液进口，所述废液进口分别与冷却器和冷阱的废液出口连通，所述HF回收罐的顶端设置有第一氮气连通口，所述HF回收罐的侧端靠近顶部处设置有第二氮气连通口，所述HF回收罐的顶端另一侧设置有抽真空口，所述HF回收罐的侧端靠近底部处开设有氮气放空口，所述HF回收罐的底端设置有HF回收口。

进一步的，所述HF回收罐靠近顶端处设置有第一废料排出口，所述第一废料排出口上还设置有与废液进口连通的连通管。

进一步的，所述HF回收罐的底端设置有第二废料排出口。

进一步的，所述HF回收罐的侧端靠近顶端设置有压力传感器和温度传感器，所述HF回收罐的侧端靠近底部处还设置有水位感应器。

进一步的，所述第一氮气连通口连接有氮气吹扫机构，所述第二氮气连通口连通有冷氮气罐。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

本实用新型通过将冷却器和冷阱中收集的HF废液进入到HF回收罐中，通过第一氮气连通口和第二氮气连通口能向HF回收罐内送氮气并增压处理，利用抽真空口进行抽真空处理，HF回收罐1的侧端靠近底部处开设有氮气放空口，利用氮气放空口进行排氮气处理，使用时，将冷却器和冷阱中收集的HF废液进入到HF回收罐中，将绝大多数的HF液体收集至设备内，通过水位感应器监测HF回收罐内HF收集量，达到指定液位时，可通过第二氮气连通口进行冷氮气增压，并打开HF回收口的阀门，下方HF回收，并回用至电解槽，冷却器、冷阱和HF回收罐中的气相排污组分，可通过第一废料排出口进入综合三废排污塔中进行处理，HF回收罐中的液相排污组分，可通过第二废料排出口进入综合三废排污塔中进行处理，在冷却器、冷阱间歇排污的情况下，利用HF回收罐将冷却器、冷阱排污过程中的液相HF全部收集回收，同时实现冷却器、冷阱排污尾气中的HF达标排放，既保证尾气达标排放，符合环保要求，又能降低一定成本，经济实用。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图；

附图标记说明：