[实用新型]一种振子驱动型微流控的振子容腔结构

权利要求书

1.一种振子驱动型微流控的振子容腔结构，其特征是：包括微流道和振子泵，所述微流道设置在一基体上，所述振子泵包括具有明确NS极的球形磁子、可产生交变磁场变化的驱动装置；所述球形磁子放置在所述微流道内，所述驱动装置靠近所述球形磁子设置在所述微流道外侧；

所述微流道上设有一下凹容腔，所述球形磁子放置在所述容腔内。

2.如权利要求1所述的一种振子驱动型微流控的振子容腔结构，其特征是：所述驱动装置为具有明确NS极的长方形磁铁片和驱动线圈；所述长方形磁铁片和驱动线圈为驱动主体，靠近所述球形磁子设置在所述微流道下方。

3.如权利要求1所述的一种振子驱动型微流控的振子容腔结构，其特征是：所述下凹容腔为半球面的或半球面的球冠部分，所述球面的直径大于所述流道的宽度。

4.如权利要求1所述的一种振子驱动型微流控的振子容腔结构，其特征是：所述基体为载玻片，所述微流道是通过蚀刻技术在所述基体上形成的凹陷通道，盖上外部盖玻片形成。

5.如权利要求1-4中任意一种所述的一种振子驱动型微流控的振子容腔结构，其特征是：所述下凹容腔为通过蚀刻技术在所述基体上形成的凹陷。