[实用新型]一种双轴倾转样品杆有效
申请号: | 202220276008.0 | 申请日: | 2022-02-11 |
公开(公告)号: | CN216773172U | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 廖洪钢 | 申请(专利权)人: | 厦门超新芯科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H05K1/18;G01N23/20025;G01N23/04 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 戚东升 |
地址: | 362200 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双轴倾转 样品 | ||
本实用新型涉及透射电子显微镜配件技术领域,特别是涉及一种双轴倾转样品杆,包括杆身、内推杆、连杆和芯片载台,芯片载台可绕倾转轴线倾转地设在杆身前端,倾转轴线垂直于样品杆轴向,内推杆活动穿设在杆身内,其前端通过连杆与芯片载台连接,内推杆可沿样品杆轴向运动,并通过连杆带动芯片载台绕倾转轴线转动,芯片载台包括载台主体、压盖和导电桥,杆身内穿设有柔性电路板,压盖固定在载台主体上,柔性电路板的前端、芯片和导电桥夹设在载台主体和压盖之间,导电桥的两端分别与芯片和柔性电路板电接触连接。在推拉内推杆带动芯片载台转动时,由于柔性电路板可弯曲,芯片可通过导电桥保持与柔性电路板电连接。
技术领域
本实用新型涉及透射电子显微镜配件技术领域,特别是涉及一种双轴倾转样品杆。
背景技术
透射电子显微镜作为一种显微观察设备,可以对材料的亚显微结构或超微结构进行有效展示,方便对材料的研究。现有的TEM(透射电子显微镜)样品杆多为单轴倾转样品杆,芯片载台只可绕X轴(样品杆轴向)旋转。
公告号为CN105758876B的专利文献公开了一种双轴倾转样品杆,其芯片载台可绕X轴旋转,还可绕Y轴(垂直于样品杆轴向)旋转,但是其功能单一,不具有对芯片进行电路连接的功能。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型提供一种双轴倾转样品杆。
具体地,本实用新型的技术方案是:
一种双轴倾转样品杆,包括杆身、内推杆、连杆和芯片载台,芯片载台可绕倾转轴线倾转地设在杆身前端,倾转轴线垂直于样品杆轴向,内推杆活动穿设在杆身内,其前端通过连杆与芯片载台连接,内推杆可沿样品杆轴向运动,并通过连杆带动芯片载台绕倾转轴线转动,芯片载台包括载台主体、压盖和导电桥,杆身内穿设有柔性电路板,压盖固定在载台主体上,柔性电路板的前端、芯片和导电桥夹设在载台主体和压盖之间,导电桥的两端分别与芯片和柔性电路板电接触连接。
优选地,所述导电桥固定在压盖上,载台主体上设有定位凸起,芯片的后端和柔性电路板的前端抵靠定位凸起设置。
优选地,所述压盖上设有多个导电桥,多个导电桥并排设置。
优选地,所述载台主体为U型结构,包括底部和相对设置的第一侧壁、第二侧壁,第一侧壁薄于第二侧壁,连杆与第一侧壁转动连接,定位凸起设在载台主体底部上表面,第一侧壁和第二侧壁用于限制柔性电路板和芯片平行于倾转轴线运动,载台主体底部上表面还设有限位台阶,限位台阶和定位凸起限制芯片沿样品杆轴向运动,限位台阶、定位凸起、第一侧壁和第二侧壁围成芯片安装槽。
优选地,所述限位台阶上表面设有让位槽,让位槽与芯片安装槽连通。
优选地,所述载台主体和压盖上分别设有观察通孔,观察通孔的位置与芯片安装槽对应。
优选地,所述压盖的后端与载台主体转动连接,压盖的前端以可拆卸的方式固定在载台主体上。
优选地,所述杆身包括杆身主体和U型框体,U型框体的开放端固定在杆身主体前端,内推杆的前端从杆身主体前端穿出,芯片载台和连杆设在U型框体内侧,芯片载台与U型框体转动连接,连杆的两端分别与内推杆和芯片载台转动连接。
优选地,所述杆身主体上设有沿样品杆轴向的让位通孔和导向通孔,内推杆穿过导向通孔,内推杆与杆身主体之间设有密封圈;柔性电路板穿过让位通孔,插入载台主体与压盖之间,柔性电路板与杆身主体之间密封设置。
优选地,所述杆身主体内设有驱动单元,驱动单元的驱动端与内推杆的后端连接,用于驱动内推杆前后运动。
本实用新型的有益技术效果:
通过导电桥建立柔性电路板与芯片之间的电连接,在推拉内推杆带动芯片载台转动时,由于柔性电路板可弯曲,芯片可保持与柔性电路板电连接,实现在转动芯片载台时,保持对芯片的电路连接。
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