[实用新型]芯片级红外光谱仪

权利要求书

1.一种芯片级红外光谱仪，包括光电转换探测器芯片(1)、分光器件(2)、探测器驱动与处理集成芯片(3)、内层芯片级封装结构(4)、内封装窗口(5)、微透镜组或微透镜阵列(6)、外封装结构(7)，其特征在于：

所述的光电转换探测器芯片(1)和分光器件(2)以及探测器驱动与处理集成芯片(3)通过芯片级封装结构(4)紧密结合，被测信号从内封装窗口(5)入射，分光器件将不同波长的光透射入不同的探测器单元；外封装结构(7)将微透镜组或微透镜阵列(6)和内层结构结合在一起构成整体尺寸为毫米量级的光谱仪。

2.根据权利要求1所述的一种芯片级红外光谱仪，其特征在于，所述的分光器件(2)采用渐变滤光片、超表面、表面等离激元或集成微腔技术的分光薄膜或集成窄带滤光片。

3.根据权利要求1所述的一种芯片级红外光谱仪，其特征在于，光电转换探测器芯片(1)的探测单元之间有消除窄带滤光单元边缘光谱的混叠或者偏移影响的微小间隔。

4.根据权利要求1所述的一种芯片级红外光谱仪，其特征在于，所述的微透镜组或微透镜阵列(6)的汇聚和准直、整形模式和探测器单元的空间分布相匹配，探测器单元为矩形或者正方形、圆形分布，采用常规汇聚透镜，当采用线阵探测器的情况下，采用柱面镜将目标信号均匀分散到探测单元。

5.根据权利要求1所述的一种芯片级红外光谱仪，其特征在于，所述的外封装结构(7)在边缘位置上配有微型光源或光源组(8)，所述的微型光源或光源组(8)是LED发光二极管、激光二极管。