[实用新型]一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置

权利要求书

1.一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，包括有炉体，所述炉体外连接有进气管道，其特征在于，所述进气管道包括：

支路气管，所述支路气管设置有多个，以供各路处理气源分开进气；

混合气管，所述混合气管的进气端分别连接于各所述支路气管，所述混合气管的出气端分别连接有排气管、汇流进气管，以通过所述排气管向外排气回收，通过所述汇流进气管向所述炉体内进气处理；

载气管，连接于各所述支路气管上，用于同步通入载气。

2.根据权利要求1所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述排气管上设有第一开关阀，用于控制所述排气管启闭，所述汇流进气管上设有第二开关阀，用于控制所述汇流进气管启闭。

3.根据权利要求1所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述支路气管靠近所述混合气管一端设有容置腔，所述支路气管上位于所述容置腔后端设有第三开关阀，所述载气管连接于所述支路气管上位于所述容置腔侧端处，所述支路气管上位于所述容置腔前端设有第四开关阀。

4.根据权利要求3所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述容置腔的通气内径大于所述支路气管的通气内径。

5.根据权利要求3所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述容置腔与所述支路气管一体成型。

6.根据权利要求3所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述容置腔外侧设有检测报警器，用于检测所述载气的泄漏。

7.根据权利要求3所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述支路气管上位于所述容置腔后端，以及所述载气管上设有流量调节阀。