[实用新型]一种用于硅单晶片的酸洗机有效

专利信息
申请号: 202220291052.9 申请日: 2022-02-14
公开(公告)号: CN217165706U 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 王世江;吴启宝 申请(专利权)人: 马鞍山市世辰半导体科技有限公司
主分类号: B08B11/02 分类号: B08B11/02;B08B1/04;B08B3/08;B08B13/00
代理公司: 合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212 代理人: 张立荣
地址: 243071 安徽省马鞍山市马鞍山*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 晶片 酸洗
【权利要求书】:

1.一种用于硅单晶片的酸洗机,包括机体(1),其特征在于,所述机体(1)的内部底端固定连接有电机(2),所述电机(2)的输出轴固定连接有驱动杆(3),所述驱动杆(3)的顶部固定连接有工作台(5),所述驱动杆(3)的下方固定套设有第一皮带轮(4);

所述机体(1)的内部右侧转动连接有螺纹杆(7),所述螺纹杆(7)的下端固定套设有第二皮带轮(8),所述第二皮带轮(8)与第一皮带轮(4)的外部套设有皮带(9),所述螺纹杆(7)上螺纹套设有移动板(10),所述移动板(10)的左侧固定连接有连接板(11),所述螺纹杆(7)的下端设有限位机构;

所述连接板(11)上开设有放置孔,所述放置孔的内部左右两边分别开设有空腔,两个所述空腔的内部分别活动套设有阻力弹簧(13),两个所述阻力弹簧(13)的另一端分别固定连接有连接块(12),两个所述连接块(12)的另一端分别固定连接有夹板(15),位于左侧所述连接块(12)的顶部固定连接有操作板(14)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅单晶片的酸洗机,其特征在于,所述机体(1)的内部固定连接有阻隔板(16),所述阻隔板(16)的顶部左侧固定连接有导向杆(17),所述导向杆(17)上活动套设有导向板(18),所述导向板(18)的右侧与连接板(11)的左侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅单晶片的酸洗机,其特征在于,所述机体(1)的内部下方固定连接有固定板(20),所述固定板(20)上开设有第一活动孔,所述驱动杆(3)活动套设在第一活动孔的内部,所述螺纹杆(7)的底部与固定板(20)的顶部右侧转动连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅单晶片的酸洗机,其特征在于,所述限位机构包括与阻隔板(16)的顶部右侧固定连接的限位弹簧(19),所述阻隔板(16)上开设有两个第二活动孔,所述驱动杆(3)活动套设在位于左侧的第二活动孔的内部,所述螺纹杆(7)活动贯穿限位弹簧(19)并活动套设在位于右侧的第二活动孔的内部。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅单晶片的酸洗机,其特征在于,所述工作台(5)的顶部固定连接有清洗海绵(6),两个所述夹板(15)之间放置有硅单晶片主体(22),位于左侧空腔的顶部开设有移动槽,所述操作板(14)活动套设在移动槽的内部。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅单晶片的酸洗机,其特征在于,所述机体(1)的顶部开设有通口,所述通口的顶部左侧铰接有盖板(21),所述机体(1)的底部固定连接有垫块。

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