[实用新型]一种定位热场的炉底盘

说明书

本实用新型提供了一种定位热场的炉底盘，涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括炉底盘本体，炉底盘本体上设有铜电极，热场底固毡设置于炉底盘本体上，热场底固毡上设有电极护套，铜电极外围的炉底盘本体上设有定位组件，所述定位组件具有与电极护套侧壁适配的定位部，所述电极护套与所述定位部接触实现与铜电极同轴。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种定位热场的炉底盘。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

现有技术中，随着单晶炉的炉型及热场越来越大，并且运行时间较长，往往超过400h，合炉时，热场对中要求越来越高。由于炉底装配的电极护套与电极之间存在间隙，导致热场底固毡定位困难，目前，没有高效准确定位热场的方法，合炉时，只能依靠拆清人员使用卷尺等测量工具对热场各个距离进行测量并校准对中，这种方法耗费时间长，作业效率低，热场对中和重复性很差，十分影响拉晶作业的标准化、自动化推行。

实用新型内容

本实用新型的目的是开发一种可快速完成热场对中，提高作业效率的定位热场的炉底盘。

本实用新型通过如下的技术方案实现：

一种定位热场的炉底盘，包括：

炉底盘本体；

铜电极，设于炉底盘本体上；

热场底固毡，设置于炉底盘本体上；

电极护套，设于热场底固毡上；

定位组件，设于铜电极外围的炉底盘本体上；

其中，所述定位组件具有与电极护套侧壁适配的定位部，所述电极护套与所述定位部接触实现与铜电极同轴。

可选的，所述定位组件为设于炉底盘本体上的定位环，所述定位环为与铜电极同轴的圆环，所述定位环的内壁与电极护套底端外壁适配。

可选的，所述定位环顶面为圆角结构。

可选的，所述定位环的内壁上部为斜面结构，斜面的顶端向外侧倾斜。

可选的，所述定位组件包括多个定位块，多个所述定位块呈与铜电极同轴的圆形设置，所述定位块的内壁与电极护套底端外壁接触。

可选的，所述定位块的内壁为形状与电极护套底端外壁适配的圆弧面。

可选的，所述定位块的数量至少为三个，多个所述定位块在其布置的圆周方向上等间距均匀设置。

可选的，所述炉底盘本体上设有开孔，所述开孔内设有气筒，所述气筒中心设有气孔，所述开孔上设有将气筒固定在开孔内的压环。

可选的，所述开孔从上至下包括顺次同轴连接且内径逐渐减小的第一开孔、第二开孔、第三开孔及第四开孔，所述气筒安装于第二开孔、第三开孔及第四开孔内，所述气筒外壁的形状与第二开孔、第三开孔及第四开孔适配，所述压环设于所述第一开孔内。

可选的，所述第二开孔及第三开孔底端设有锥槽，所述锥槽为斜面并且内侧为较低端，所述气筒外壁对应位置设有与锥槽适配的锥环。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型电极护套卡入定位环或多个定位块即可实现热场底固毡的位置定位，使热场对中，无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中，作业效率大幅提高，单晶炉运行中产生的杂质聚集在气筒的气孔内，清理时，取下气筒进行更换即可，无需更换整个炉底盘本体，大幅降低生产成本。

附图说明