[实用新型]旋转搬运机构及硅片生产流水线

权利要求书

1.一种旋转搬运机构，其特征在于，包括：

驱动模块，包括能绕一沿第一方向延伸的轴线转动的输出部；

旋转模块，包括转盘和设置于所述转盘的传动组件，所述转盘和所述传动组件共同连接于所述驱动模块的输出部；及

吸附搬运模块，绕另一沿所述第一方向延伸的轴线可转动地安装于所述旋转模块的转盘，所述吸附搬运模块与所述传动组件传动连接。

2.根据权利要求1所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述旋转模块还包括第一连接轴，所述第一连接轴的一端连接所述传动组件，所述第一连接轴的另一端可转动地穿过所述转盘并连接所述吸附搬运模块。

3.根据权利要求2所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述传动组件包括第一传动轮和第二传动轮，所述第一传动轮固定安装于所述驱动模块的一端，所述第二传动轮传动连接于所述第一传动轮，并且所述第二传动轮通过所述第一连接轴可转动地连接所述转盘；

所述驱动模块能够驱动所述第一传动轮绕自身轴线方向旋转，以带动所述第二传动轮在绕所述第一传动轮的轴线方向旋转的同时也绕自身轴线方向与所述第一传动轮同向旋转；

其中，所述第一传动轮的轴线方向与所述第二传动轮的轴线方向相互平行。

4.根据权利要求3所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述第二传动轮的直径是第一传动轮的直径的两倍。

5.根据权利要求3或4所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述传动组件还包括第三传动轮，所述第一传动轮、所述第二传动轮和所述第三传动轮各具有多个沿周向间隔排布的啮合齿，所述第三传动轮沿其径向方向的两端分别通过所述啮合齿啮合于所述第一传动轮和所述第二传动轮，以使所述第二传动轮能够在所述第一传动轮绕自身轴线旋转时也能够同步绕自身轴线方向同向旋转。

6.根据权利要求5所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述旋转模块还包括第二连接轴，所述第二连接轴的一端固定连接所述第三传动轮，所述第二连接轴的另一端可转动地连接所述转盘，以使所述第三传动轮能够在所述第一传动轮的带动下相对所述转盘绕自身轴线方向旋转。

7.根据权利要求3或4所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述传动组件还包括同步带，所述同步带的两端分别套设于所述第一传动轮和所述第二传动轮，以使所述第二传动轮能够在所述第一传动轮绕自身轴线转动时也能够同步绕自身轴线方向同向旋转。

8.根据权利要求2所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述吸附搬运模块包括连接架和吸盘，所述连接架固定安装于所述第一连接轴，所述吸盘固定安装于所述连接架远离所述第一连接轴的一端。

9.根据权利要求8所述的旋转搬运机构，其特征在于，所述吸盘的一侧具有第一吸气口，所述第一吸气口用于通入气体以将硅片吸附于所述吸盘上。

10.一种硅片生产流水线，其特征在于，包括工作台和如权利要求1至9中任一权利要求所述的旋转搬运机构，所述旋转搬运机构能够相对所述工作台旋转，以将硅片从所述工作台的一个位置吸附并搬运至所述工作台的另一位置。