[实用新型]一种晶体生长气泡消除装置有效
| 申请号： | 202220339215.6 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN216838264U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 郑国宗;胡子钰;林秀钦;李静雯;李鹏飞 | 申请（专利权）人： | 闽都创新实验室;中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B7/08 | 分类号： | C30B7/08;C30B29/14 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 毛薇 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 气泡 消除 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体生长气泡消除装置，其特征在于，所述晶体生长气泡消除装置包括晶体生长槽、载晶架、电机、连接轴和旋转式扇叶；
所述载晶架在晶体生长槽内；
所述电机在晶体生长槽外；
所述载晶架具有空心轴；
所述连接轴穿过空心轴；
所述连接轴和旋转式扇叶铰接；
所述电机通过连接轴驱动旋转式扇叶旋转；
所述空心轴的直径与晶体生长槽直径的比例为1：10。
2.根据权利要求1所述的晶体生长气泡消除装置，其特征在于，所述旋转式扇叶用于所述载晶架的平台表面气泡的消除。
3.根据权利要求1所述的晶体生长气泡消除装置，其特征在于，所述旋转式扇叶进入所述载晶架的空心轴时处于收缩垂直状态，所述旋转式扇叶的顶部接触所述载晶架的平台后处于张开水平状态。
4.根据权利要求1所述的晶体生长气泡消除装置，其特征在于，所述旋转式扇叶(3)为圆弧状。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述旋转式扇叶(3)为聚四氟乙烯材质。
6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述旋转式扇叶(3)为至少2片。
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