[实用新型]单晶硅抛光液泵给系统有效
| 申请号： | 202220340195.4 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN216778587U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 罗平新;王春阳;季清海;罗正光 | 申请（专利权）人： | 东莞德盟工业有限公司 |
| 主分类号： | B01F27/90 | 分类号： | B01F27/90;B01F33/40;B01F23/53 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523770 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 抛光 系统 | ||
【权利要求书】：
1.单晶硅抛光液泵给系统，包括箱体,底座,支架以及泵给结构；其特征在于，泵给结构安装在箱体上，箱体安装在支架上，支架安装底座上；
泵给结构包括：旋转组件，起泡组件和供给组件；
旋转组件安装在箱体上，气泡组件安装在箱体上，供给组件安装在箱体上；
旋转组件包括：支撑架，电机，旋转轴，若干旋转叶片；
支撑架安装在箱体上，电机安装在支撑架上，旋转轴安装在电机输出端，若干旋转叶片安装在旋转轴上。
2.根据权利要求1所述的单晶硅抛光液泵给系统，其特征在于，若干旋转叶片尺寸不同。
3.根据权利要求1所述的单晶硅抛光液泵给系统，其特征在于，起泡组件包括：连接管，起泡机，曝气管；
起泡机安装在箱体上，连接管安装在起泡机上，曝气管安装在连接管上。
4.根据权利要求3所述的单晶硅抛光液泵给系统，其特征在于，曝气管与箱体连接处设置有辅助支撑架。
5.根据权利要求1所述的单晶硅抛光液泵给系统，其特征在于，供给组件包括：出水口，供给泵，供给管，电磁阀；
出水口安装在箱体上，供给泵安装在箱体上，电磁阀安装在供给泵上，供给管一段与出水口连接，一端与供给泵连接。
6.根据权利要求5所述的单晶硅抛光液泵给系统，其特征在于，供给管上设置有单向阀。
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