[实用新型]悬吊固定式紧密型钎焊加热盘

说明书

本实用新型涉及一种悬吊固定式紧密型钎焊加热盘，包括：一体铸造成型的盘体，所述盘体内埋设有加热盘丝，所述加热盘丝上设有若干用于与铸造加工设备的支撑部分相连接的吊丝，若干所述吊丝沿所述加热盘丝的盘绕方向均匀设置；所述盘体的中部设有连接套筒，所述加热盘丝穿过所述连接套筒。在铸造加工盘体前将加热盘丝通过吊丝悬吊在铸造模具内，然后将铸造浆液倒入铸造模具中成型盘体，铸造浆液在铸造模具中将加热盘丝完全包裹，从而使得盘体冷却成型后与加热盘丝可以形成稳定紧密的结合，使得加热盘丝产生的热量能够直接传递至盘体，提高了热传导效率；盘体成型后将吊丝沿盘体的表面切断即可，最后将连接套筒装配在盘体上。

技术领域

本实用新型涉及钎焊加热盘技术领域，特别涉及一种悬吊固定式紧密型钎焊加热盘。

背景技术

集成电路制造中需要利用去气(Degas)设备和退火(Anneal)设备对硅片进行加热处理，主要作用是将硅片置于真空、高温环境(250-450℃)中一段时间，去除水汽、有机物等吸附在硅片表面的物质以及降低缺陷和掺杂再分布等。加热盘是去气设备和退火设备中去气腔室和退火腔室的核心加热部件，加热盘通常包括盘体和设置在盘体内的加热丝，现有的盘体通常由上下两组盘体装配成型，使得加热丝与盘体结合较少，影响导热效率。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种悬吊固定式紧密型钎焊加热盘，具体提高加热盘丝与盘体结合紧密度、提高导热效率的优点。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种悬吊固定式紧密型钎焊加热盘，包括：一体铸造成型的盘体，所述盘体内埋设有加热盘丝，所述加热盘丝上设有若干用于与铸造加工设备的支撑部分相连接的吊丝，若干所述吊丝沿所述加热盘丝的盘绕方向均匀设置；所述盘体的中部设有连接套筒，所述加热盘丝穿过所述连接套筒。

实现上述技术方案，在铸造加工盘体前将加热盘丝通过吊丝悬吊在铸造模具内，然后将铸造浆液倒入铸造模具中成型盘体，铸造浆液在铸造模具中将加热盘丝完全包裹，从而使得盘体冷却成型后与加热盘丝可以形成稳定紧密的结合，使得加热盘丝产生的热量能够直接传递至盘体，提高了热传导效率；盘体成型后将吊丝沿盘体的表面切断即可，最后将连接套筒装配在盘体上，使加热盘丝的两端穿过连接套筒，以方便加热盘后续的安装。

作为本实用新型的一种优选方案，所述加热盘丝的其中一侧设有定位标板。

实现上述技术方案，通过定位标板便于在加工时判断加热盘丝放置的是否水平。

作为本实用新型的一种优选方案，所述定位标板上设有若干锚定凸块。

实现上述技术方案，通过锚定凸块使得盘体冷却成型后加热盘丝固定的更加稳定。

作为本实用新型的一种优选方案，若干所述吊丝上均设有高度一致且与所述盘体上表面相平齐的标码。

实现上述技术方案，通过标码可以进一步判断加热盘丝放置的水平度。

作为本实用新型的一种优选方案，所述标码的底部设有悬浮槽。

实现上述技术方案，通过悬浮槽能够在注入铸造浆液后保持一定的浮力而维持加热盘丝的位置不变，且在盘体冷却成型后与盘体结合的更加紧密。

作为本实用新型的一种优选方案，所述盘体的中部设有连接嵌槽，所述连接套筒的端部设有嵌入所述连接嵌槽的连接环，所述连接环上设有若干用于锁入连接件的连接孔。

实现上述技术方案，便于与盘体连接固定。

综上所述，本实用新型具有如下有益效果：