[实用新型]一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置有效
| 申请号： | 202220346262.3 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN217536135U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 何秉轩 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 张子宽 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸镀用 坩埚 装置 | ||
1.一种电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体，用于容纳待沉积的蒸发料；
以及导电保温托，用于保温所述坩埚本体，所述导电保温托包覆设置于所述坩埚本体的外侧；所述导电保温托包括多个逐层设置于所述坩埚本体的外侧的保温层。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，所述保温层为金属层、导电陶瓷层或石墨层。
3.根据权利要求1所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，每相邻两个所述保温层不同。
4.根据权利要求2所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，所述导电保温托的最外侧为石墨层。
5.根据权利要求1-4任一项所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，每相邻两个所述保温层之间抵接；
或，每相邻两个所述保温层之间通过导电支撑件连接，以在每相邻两个所述保温层之间形成有隔热空腔。
6.根据权利要求5所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，所述导电支撑件为设置于相邻所述保温层之间且位于所述保温层底部的支撑块；
和/或，设置于相邻所述保温层之间且位于所述保温层侧边的支撑块；
和/或，设置于相邻所述保温层之间的多条支撑棱。
7.根据权利要求1所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，所述导电保温托包括间隔交替设置的第一保温层以及第二保温层；所述第一保温层为金属层、导电陶瓷层或石墨层；
所述第二保温层为石墨毡。
8.根据权利要求1所述的电子束蒸镀用坩埚，其特征在于，还包括承载设置于所述导电保温托的底部的导电基座。
9.一种电子束蒸镀装置，包括坩埚，其特征在于，所述坩埚为如权利要求1至8任一项所述的电子束蒸镀用坩埚。
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