[实用新型]一种推车柜

说明书

本实用新型提供了一种推车柜，包括柜体和多个滚轮，多个所述滚轮安装在所述柜体的底部，所述柜体通过所述滚轮滚动，所述滚轮具有自锁结构；所述柜体具有一内部空间，所述柜体包括门，所述门具有打开和关闭两种状态；所述柜体设置有抽气孔；所述抽气孔的一端与所述柜体的内部空间连通，另一端用于连接排气管。所述推车柜可以自由移动位置，方便对光刻机等设备进行维护保养，并且可以降低维护保养过程中TVOC挥发到车间环境中的含量。

技术领域

本实用新型涉及设备维护保养技术领域，特别涉及一种推车柜。

背景技术

在半导体制造过程中，对工厂(fabrication，fab)环境的TVOC(Total VolatileOrganic Compounds，总挥发性有机物)的含量要求很高，工厂内通常会安装多个监测点用于监测TVOC的含量，防止TVOC的含量高于限定值。

光刻机和使用丙酮、异丙醇或酒精等TVOC的设备，在对这些设备进行PM(Prevention MaintenanceProductive Maintenance，预防维护和生产维护)时，需要将设备中剩余的TVOC装入密封垃圾桶中。目前，主要是在车间中固定的位置设置一个设备维护房间(PM room，设备维护房间)，在光刻机等设备需要维护保养时，将这些设备中剩余的TVOC搬运至设备维护房间，再将TVOC装入密封垃圾桶中。

然而，由于设备维护房间的位置是固定不变的，当需要维护保养的设备距离设备维护房间较远时，不方便对设备进行维护保养，并且部分TVOC会挥发到车间环境中，影响生产。

实用新型内容

本实用新型提供了一种推车柜，以解决设备维护房间的位置固定不变的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种推车柜，包括柜体和多个滚轮，多个所述滚轮安装在所述柜体的底部，所述柜体通过所述滚轮滚动，所述滚轮具有自锁结构；所述柜体具有一内部空间，所述柜体包括门，所述门具有打开和关闭两种状态；所述柜体设置有抽气孔；所述抽气孔的一端与所述柜体的内部空间连通，另一端用于连接排气管。

可选的，还包括可移动围栏和可伸缩盖帘；所述可移动围栏的底部设置有用于滚动的滚轮，所述可移动围栏沿垂直于所述柜体的门方向可往复移动，所述可移动围栏用于围住所述柜体的门，所述可移动围栏开设有用于通行的门；所述柜体包括顶盖；所述可伸缩盖帘的一端与所述顶盖靠近所述柜体的门的一边连接，另一端与所述可移动围栏朝向所述柜体的门的一边连接。

可选的，所述柜体的横截面的形状为矩形，所述可移动围栏包括依次垂直连接的第一侧面、第二侧面和第三侧面；所述第二侧面上开设有用于通行的门；所述第一侧面和所述第三侧面均与所述柜体的门垂直，所述柜体的门位于所述第一侧面和所述第三侧面之间。

可选的，所述可移动围栏的上表面和所述顶盖的上表面平行。

可选的，所述柜体的门沿平行于所述第二侧面的方向可移动。

可选的，所述柜体的门上设置有窗口。

可选的，所述第二侧面上用于通行的门沿平行于所述第二侧面的方向可移动。

可选的，所述第二侧面上用于通行的门设置有窗口。

可选的，所述柜体包括相互平行的第四侧面和第五侧面，所述第四侧面与所述第一侧面平行，所述第四侧面靠近所述柜体的门的一侧设置有用于对所述第一侧面进行限位的第一限位块，所述第五侧面靠近所述柜体的门的一侧设置有用于对所述第三侧面进行限位的第二限位块。

可选的，所述抽气孔设置在所述顶盖上。

本实用新型提供的一种推车柜，可以自由移动位置，方便对光刻机等设备进行维护保养，并且可以降低维护保养过程中TVOC挥发到车间环境中的含量。

附图说明