[实用新型]一种单晶炉热量交换系统及单晶炉有效
申请号: | 202220381414.3 | 申请日: | 2022-02-22 |
公开(公告)号: | CN216765119U | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 龚小伦;关树军;张鹏;路建华;李飞剑;杨春祥 | 申请(专利权)人: | 乐山市京运通新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人: | 赵雷 |
地址: | 614000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 热量 交换 系统 | ||
1.一种单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述单晶炉热量交换系统包括两冷却系统(3)和两夹套(5),两冷却系统(3)对称设置在单晶炉的炉壁和炉底上,每一夹套(5)设置在一单晶炉的尾气管道上,每一夹套(5)通过一连接管(6)与一冷却系统(3)连接,每一夹套(5)设置有一夹套进水口(51)和一夹套出水口(52),每一冷却系统(3)设置有冷却进水口(31)和冷却出水口(32),冷却进水口(31)设置在单晶炉的炉底,冷却出水口(32)设置在单晶炉的炉壁的上部。
2.根据权利要求1所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套进水口(51)位于夹套出水口(52)的下方。
3.根据权利要求2所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套(5)的夹层内装有与夹层配合的盘管(53),盘管(53)为螺旋形,夹套出水口(52)与盘管(53)上端口连接,夹套进水口(51)与盘管(53)下端口连接。
4.根据权利要求3所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套(5)的截面圆口大小由下至上相等。
5.根据权利要求3所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套(5)的截面圆口大小由下至上依次减小。
6.一种单晶炉,其特征在于,所述单晶炉设置有权利要求1-5任一所述的单晶炉热量交换系统。
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