[实用新型]一种单晶炉热量交换系统及单晶炉有效

专利信息
申请号: 202220381414.3 申请日: 2022-02-22
公开(公告)号: CN216765119U 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 龚小伦;关树军;张鹏;路建华;李飞剑;杨春祥 申请(专利权)人: 乐山市京运通新材料科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 代理人: 赵雷
地址: 614000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 热量 交换 系统
【权利要求书】:

1.一种单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述单晶炉热量交换系统包括两冷却系统(3)和两夹套(5),两冷却系统(3)对称设置在单晶炉的炉壁和炉底上,每一夹套(5)设置在一单晶炉的尾气管道上,每一夹套(5)通过一连接管(6)与一冷却系统(3)连接,每一夹套(5)设置有一夹套进水口(51)和一夹套出水口(52),每一冷却系统(3)设置有冷却进水口(31)和冷却出水口(32),冷却进水口(31)设置在单晶炉的炉底,冷却出水口(32)设置在单晶炉的炉壁的上部。

2.根据权利要求1所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套进水口(51)位于夹套出水口(52)的下方。

3.根据权利要求2所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套(5)的夹层内装有与夹层配合的盘管(53),盘管(53)为螺旋形,夹套出水口(52)与盘管(53)上端口连接,夹套进水口(51)与盘管(53)下端口连接。

4.根据权利要求3所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套(5)的截面圆口大小由下至上相等。

5.根据权利要求3所述的单晶炉热量交换系统,其特征在于,所述夹套(5)的截面圆口大小由下至上依次减小。

6.一种单晶炉,其特征在于,所述单晶炉设置有权利要求1-5任一所述的单晶炉热量交换系统。

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