[实用新型]一种二极溅射靶枪

权利要求书

1.一种二极溅射靶枪，其特征在于，包括一无氧铜靶座（3）、一基座（5）和一绝缘板（4），所述绝缘板（4）固定于无氧铜靶座（3）和基座（5）之间， 所述无氧铜靶座（3）与所述绝缘板（4）相互贴合的端面之间以及所述基座（5）与所述绝缘板（4）相互贴合的端面之间均设有被紧压于端面之间的至少一真空密封圈（7）。

2.根据权利要求1所述的二极溅射靶枪，其特征在于，所述绝缘板（4）通过螺钉（12）固定于所述无氧铜靶座（3）和所述基座（5）之间，所述无氧铜靶座（3）的下端设有数个均匀分布的下螺纹孔（31），所述绝缘板（4）和所述基座（5）上设有数个与所述下螺纹孔（31）对应的绝缘板通孔（41）和基座通孔（51），所述基座通孔（51）内设有用于将所述螺钉（12）和所述基座（5）绝缘的绝缘端子（13），所述螺钉（12）穿过所述绝缘端子（13）、所述绝缘板通孔（41）固定在所述无氧铜靶座（3）的所述下螺纹孔（31）上。

3.根据权利要求2所述的二极溅射靶枪，其特征在于， 所述无氧铜靶座（3）与所述绝缘板（4）相互贴合的端面上以及所述基座（5）与所述绝缘板（4）相互贴合的端面上均设有用于容纳所述真空密封圈（7）的密封槽，所述密封槽设置于所述下螺纹孔（31）或所述基座通孔（51）的内侧。

4.根据权利要求3所述的二极溅射靶枪，其特征在于，所述无氧铜靶座（3）上设有一冷水槽（34），所述冷水槽（34）设置于所述密封槽的内侧，所述绝缘板（4）上设有与所述冷水槽（34）对应的通水孔（42），所述通水孔（42）内设有不锈钢宝塔头（14），外接水管（15）连接于所述宝塔头（14）上实现冷却水在所述冷水槽（34）内的循环流动。

5.根据权利要求1所述的二极溅射靶枪，其特征在于，所述无氧铜靶座（3）下端中心位置具有一阴极螺孔（33），所述绝缘板（4）中心位置对应设有一阴极通孔（43），连接阴极导线（9）的阴极螺钉（8）穿过所述阴极通孔（43）螺纹固定在所述无氧铜靶座（3）上。

6.根据权利要求5所述的二极溅射靶枪，其特征在于，所述无氧铜靶座（3）和所述绝缘板（4）之间相互贴合的端面上设有一防水密封圈（6），所述防水密封圈（6）环绕在所述阴极螺钉（8）的外侧。

7.根据权利要求1所述的二极溅射靶枪，其特征在于，还包括一靶材（2），所述靶材（2）包括靶坯（21）和无氧铜背板（22），所述靶坯（21）与所述无氧铜背板（22）通过焊接或粘接的方式固定在一起，所述无氧铜背板（22）的中心位置具有一体成型的外螺纹柱（23），所述无氧铜靶座（3）上端中心对应位置具有一上螺纹孔（32），所述靶材（2）通过所述外螺纹柱（23）螺纹固定方式可拆卸地安装于所述无氧铜靶座（3）上表面。

8.根据权利要求7所述的二极溅射靶枪，其特征在于，还包括一屏蔽罩（1），所述屏蔽罩（1）的内侧具有内螺纹，所述基座（5）外侧具有外螺纹，所述屏蔽罩（1）通过螺纹固定于所述基座（5）上，将所述靶材（2）、所述无氧铜靶座（3）和所述绝缘板（4）套设于所述屏蔽罩（1）与所述基座（5）之间，所述基座（5）的直径大于所述绝缘板（4）的直径，所述绝缘板（4）的直径大于所述靶材（2）和所述无氧铜靶座（3）的直径，所述靶材（2）和所述无氧铜靶座（3）的直径相同。

9.根据权利要求8所述的二极溅射靶枪，其特征在于，所述绝缘板（4）的外周到所述屏蔽罩（1）内表面的距离小于2mm，所述屏蔽罩（1）的上侧内表面到所述靶材（2）上表面距离为1-2mm，所述靶材（2）和所述无氧铜靶座（3）的直径均为2英尺。

10.根据权利要求1所述的二极溅射靶枪，其特征在于，所述基座（5）上设有内螺纹孔（52），阳极导线（11）连接阳极螺钉（10）螺纹固定在所述基座（5）上。