[实用新型]一种单晶炉停炉快速冷却热场装置及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，包括提升结构、可上下分离的上保温筒(5)和中下保温筒(7)，所述上保温筒(5)与中下保温筒(7)分离后形成中间缝隙(10)，所述中间缝隙(10)的缝距可调节；

所述提升结构连接上保温筒(5)，所述提升结构通过带动上保温筒(5)向上移动，使得所述上保温筒(5)与中下保温筒(7)形成中间缝隙(10)，所述中间缝隙(10)的缝距与上保温筒(5)向上移动的距离正相关。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，包括炉体，所述可上下分离的上保温筒(5)和中下保温筒(7)设置在炉体内部，所述提升结构包括驱动部件和可升降的水冷屏立柱(6)，所述驱动部件设置在炉体外，所述水冷屏立柱(6)从炉顶外连通至炉顶内，所述提升结构还包括连接部件，所述连接部件位于炉内上部，所述上保温筒(5)和水冷屏立柱(6)在炉内的一端通过连接部件相连。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，所述连接部件为挂钩形状，包括通过挂钩转轴(2)连接的挂钩上部(1)和挂钩(3)，其中挂钩上部(1)连接水冷屏立柱(6)，挂钩(3)与上保温筒(5)相连。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，所述挂钩上部(1)与挂钩(3)均为“L”型结构件，其中挂钩上部(1)的“L”型竖直段与挂钩(3)的“L”型竖直段通过挂钩转轴(2)相连，挂钩上部(1)的“L”型横向段具有通孔，所述通孔用于使水冷屏立柱(6)穿过，所述挂钩(3)的“L”型横向段与上保温筒(5)相连。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，所述保温筒(5)外设置突出部件(4)，所述突出部件(4)与挂钩(3)的“L”型横向段配合连接。

6.根据权利要求4所述的一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，所述挂钩(3)与上保温筒(5)的连接方式为活动连接或插销连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，其特征在于，所述活动连接具体为：所述上保温筒(5)外侧设有挂环，挂钩(3)的“L”型横向段与挂环配合实现活动连接；所述插销连接具体为：所述上保温筒(5)外侧设有销孔，挂钩(3)的“L”型横向段与销孔配合实现插销连接。

8.一种单晶炉，其包含权利要求1-7任一项所述的冷却热场装置，其特征在于，所述中下保温筒(7)内设有坩埚，坩埚靠近中下保温筒(7)一侧设有加热器(8)，中下保温筒(7)外侧邻接单晶炉内壁(9)。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉内壁(9)为双层炉壁结构，且双层炉壁间通有冷却介质。