[实用新型]一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置有效
| 申请号： | 202220410585.4 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN217194718U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王升;陈辉;李有群;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶锭外圆 加工 夹持 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置，其特征是：该装置由中心调节机构和真空吸盘（1）组成，中心调节机构和真空吸盘（1）是螺纹连接；所述的中心调节机构包括升降环（2）、对心环（4）和定位销（3），所述升降环（2）顶面设有环形均匀分布的锁紧螺钉（6），所述的对心环（4）上设有均匀分布的定位销（3）。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置，其特征是：所述的真空吸盘（1）下部柱面上设有外螺纹，升降环（2）内圈面与真空吸盘（1）下部柱面上的外螺纹相适配。
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