[实用新型]一种机械臂及电镀设备

权利要求书

1.一种机械臂，其特征在于：包括横杆支架、密封罩、密封罩升降机构及控制系统；所述密封罩与所述横杆支架通过所述密封罩升降机构连接；所述密封罩升降机构用于驱动所述密封罩上下移动；所述控制系统与所述密封罩升降机构电连接；所述横杆支架下方设有盖板，所述盖板与所述横杆支架通过盖板升降机构连接，所述盖板升降机构用于驱动所述盖板上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种机械臂，其特征在于：所述密封罩包括第一拼接部和第二拼接部，所述第一拼接部及所述第二拼接部通过密封罩开合机构驱动拼合形成所述密封罩的完整体或分离并各自分列于所述盖板的两侧；所述密封罩开合机构与所述控制系统电连接。

3.根据权利要求2所述的一种机械臂，其特征在于：所述密封罩的完整体为底部敞口的球形罩壳或者为平面结构。

4.根据权利要求2所述的一种机械臂，其特征在于：所述第一拼接部及所述第二拼接部相对的侧部中的至少一个侧部设有侧部密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种机械臂，其特征在于：所述密封罩的底部设置底部密封圈。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种机械臂，其特征在于：所述密封罩升降机构包括第一气缸，所述第一气缸与所述控制系统电连接；所述机械臂还包括用于监测所述第一气缸压力的第一气缸压力表。

7.根据权利要求2-5任一项所述的一种机械臂，其特征在于：所述密封罩开合机构包括第二气缸，所述第二气缸与所述控制系统电连接；所述机械臂还包括用于监测所述第二气缸压力的第二气缸压力表。

8.根据权利要求1所述的一种机械臂，其特征在于：所述密封罩为一体式结构，所述机械臂还包括平移机构，所述平移机构用于控制所述盖板和/或所述密封罩沿所述横杆支架的长度方向移动；所述平移机构与所述控制系统电连接。

9.一种电镀设备，其特征在于：包括如权利要求1-8任一项所述机械臂及杯式镀槽；所述密封罩用于对所述杯式镀槽进行密封。

10.根据权利要求9所述的一种电镀设备，其特征在于：所述电镀设备还包括均与所述控制系统电连接的位置传感器和测距传感器，所述位置传感器用于监测所述密封罩与所述杯式镀槽间的相对位置并将相对位置信号发送给所述控制系统，所述测距传感器用于监测所述密封罩与所述盖板间的距离并将所述距离信号发送给所述控制系统，所述控制系统根据所述位置传感器及所述测距传感器反馈的信号来控制所述盖板升降机构。

11.根据权利要求10所述的一种电镀设备，其特征在于：所述位置传感器采用接触式传感器，所述接触式传感器安装在所述密封罩的底部或者安装在所述杯式镀槽的顶部；或者所述位置传感器采用接近式传感器，所述接近式传感器安装在所述杯式镀槽的旁边。