[实用新型]一种多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备有效
| 申请号： | 202220418233.3 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN216891196U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/26;C23C14/35 |
| 代理公司： | 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 | 代理人： | 杨英华 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 双面 设备 | ||
1.一种多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，包括真空容器(1)，其特征在于：所述真空容器(1)内设有放卷系统(2)和收卷系统(3)，所述放卷系统(2)输出基材(4)复卷至收卷系统(3)上，所述基材(4)经放卷系统(2)至收卷系统(3)输送的行程中设有多个用于缠绕基材(4)的镀膜辊(5)，在多个镀膜辊(5)的侧部设有分别用于给所述基材(4)的两面镀制第一层膜和第二层膜的镀膜装置(6)。
2.根据权利要求1所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：所述镀膜装置(6)包括磁控靶(61)和电子束蒸发镀膜器(62)，所述磁控靶(61)和电子束蒸发镀膜器(62)分别与多个镀膜辊(5)配合设置。
3.根据权利要求2所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：所述电子束蒸发镀膜器(62)包括设于真空容器(1)上的电子枪(63)和设于真空容器(1)底部的蒸发坩埚(64)，电子枪(63)的电子束射向蒸发坩埚(64)。
4.根据权利要求1所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：所述真空容器(1)上设有真空抽气装置(7)。
5.根据权利要求1所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：所述真空容器(1)上设有真空测量系统(8)。
6.根据权利要求1至5任一项所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：所述多个镀膜辊(5)包括有四个镀膜辊组成，每一镀膜辊配有镀膜装置(6)，在基材(4)的输送行程中设有若干用于导向的导辊(9)。
7.根据权利要求6所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：基材(4)依次绕过镀膜辊一(51)、镀膜辊二(52)、镀膜辊三(53)和镀膜辊四(54)后复卷在收卷系统(3)上。
8.根据权利要求6所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：基材(4)依次绕过镀膜辊一(51)、镀膜辊三(53)、镀膜辊二(52)及镀膜辊四(54)后复卷在收卷系统(3)上。
9.根据权利要求6所述的多镀膜辊的双面镀膜卷对卷设备，其特征在于：镀膜辊一(51)、镀膜辊二(52)、镀膜辊三(53)和镀膜辊四(54)在真空容器(1)内呈直线排布，基材(4)依次绕过镀膜辊一(51)、镀膜辊二(52)、镀膜辊三(53)和镀膜辊四(54)后复卷在收卷系统(3)上。
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