[实用新型]一种用于石英导流筒的仿形检具及其组合

说明书

本实用新型公开了一种用于石英导流筒的仿形检具及其组合，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术中的测量工具对石英导流筒测量时不方便，难以快速确定石英导流筒尺寸是否满足安装要求的题问题，本实用新型实施例的一种用于石英导流筒的仿形检具，包括板状的检具主体，检具主体具有形状分别与石英导流筒轴线所在纵截面的左右筒腔壁形状相同的左右侧壁，检具主体具有石英导流筒的筒腔直径相同的宽度尺寸，宽度尺寸为检具主体的左右侧壁之间的间距。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种用于石英导流筒的仿形检具及其组合。

背景技术

目前单晶炉所用的导流筒均为石英导流筒，由于石英制品在加工制作过程中加工难度大，加工精度低，导致目前的石英制品公差尺寸较大，且由于石英制品有易碎的缺点，因此，每个批次到货产品在使用前都必须全部进行检测，确定其是否满足安装要求，避免出现因为石英导流筒尺寸不合适造成的挤压、碎裂。

目前，通常使用直尺和卡尺作为测量工具对石英导流筒尺寸进行测量，石英导流筒不是一个较为规则的筒状体，导流筒的包括直径固定的部分和直径逐渐缩小的部分，因此，在实际的检测过程中使用直尺和卡尺测量时很不方便，而且直尺和卡尺一般都是金属制品容易对石英导流筒造成磕碰等隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于石英导流筒的仿形检具及其组合，用于解决现有技术中测量工具对石英导流筒测量时不方便，难以快速确定石英导流筒尺寸是否满足安装要求的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种用于石英导流筒的仿形检具，包括板状的检具主体，检具主体具有形状分别与石英导流筒轴线所在纵截面的左右筒腔壁形状相同的左右侧壁，检具主体具有石英导流筒的筒腔直径相同的宽度尺寸，宽度尺寸为检具主体的左右侧壁之间的间距。

可选的，所述检具主体的形状为横截面为一字型的板状结构，板状的检具主体的厚度范围为6mm-15mm。

可选的，所述检具主体的厚度值为10mm。

可选的，所述检具主体包括与石英导流筒的等径部相适配的等径区，等径区的形状为矩形；

所述检具主体包括与石英导流筒的缩径部相适配的缩径区，缩径区的形状为等腰梯形；

等径区和缩径区一体化设置且等径区位于缩径区的上方，缩径区的宽度从顶部到底部逐渐减小。

可选的，所述检具主体包括前后侧壁，所述等径区和所述缩径区的左侧壁和前后侧壁之间均设有弧形倒角，所述等径区和所述缩径区的右侧壁和前后侧壁之间均设有弧形倒角，弧形倒角的半径值范围为：2mm-6mm。

可选的，所述弧形倒角的半径为4mm。

可选的，所述检具主体的材料为塑料。

可选的，所述检具主体顶部设有用于握住检具主体的把手结构。

可选的，所述把手结构为设于检具主体内的把手孔。

一种仿形检具组合，包括以上所述的一种用于石英导流筒的仿形检具，所述检具主体的数量为两块，检具组合由两块互相交叉垂直的检具主体组成，检具组合的横截面为十字型，检具组合具有与所述石英导流筒的轴线重合的相交线。

本实用新型具有的有益效果：

本实用新型的一种用于石英导流筒的仿形检具，包括板状的检具主体，检具主体具有形状分别与石英导流筒轴线所在纵截面的左右筒腔壁形状相同的左右侧壁，检具主体具有石英导流筒的筒腔直径相同的宽度尺寸，宽度尺寸为检具主体的左右侧壁之间的间距。