[实用新型]细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备设备

权利要求书

1.细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备设备，所述铸锭制备设备为多晶铸锭炉，包括上炉体、下炉体、隔热笼、石英陶瓷坩埚、顶加热器件、四周侧加热器件、石墨热交换台，石英陶瓷坩埚外壁上设置有坩埚石墨护板和碳/碳复合保温方框，其间填充石墨软毡并压覆条状石墨块，石英陶瓷坩埚与隔热笼之间设置有升高的四周侧加热器件，其特征在于，在坩埚石墨护板外周设置石墨软毡、碳/碳复合保温方框及条状石墨块，在上炉体内壁上安装有非接触电磁搅拌装置；将常规的G5、G6、G7石英陶瓷坩埚长宽外形尺寸缩小90mm的坩埚，相应的坩埚石墨护板长度也减少90mm，在石墨护板外侧设置高度与最终铸锭结晶方锭高度基本一样的碳/碳复合材质5mm薄壁正方环形保温框，保温框与石墨护板之间填充厚度为30～35mm石墨软毡，石墨软毡上压覆宽度相当的条状石墨块；所述非接触电磁搅拌装置属于水平旋转电磁搅拌器，由12组电磁搅拌装置线圈感应器、一个低频电源、一套水冷循环和一个独立的控制系统组成；电磁搅拌器在多晶铸锭炉内坩埚周围施加，产生的低频交变电磁场直接作用于坩埚熔融硅液上，从而驱动硅液作水平低速有规律旋转运动，达到无接触搅拌的目的。

2.根据权利要求1所述细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备设备，其特征在于，

多晶铸锭炉选取具有五面电阻加热系统和只是下降坩埚石墨热交换台开启隔热笼运动功能的铸锭炉，将五面电阻加热系统的四周侧加热器件在隔热笼内部空间允许条件下提升50～80mm，或设计将四周侧加热器件高度缩短50～80mm，拉开侧加热器与坩埚底部距离。

3.根据权利要求1所述细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备设备，其特征在于，所述12组电磁搅拌装置线圈感应器N极S极相间圆周均匀设置在方形隔热笼与圆形上炉体四个间隔处，线圈感应器中心高度置于石英陶瓷坩埚处于隔热笼关闭状态时，坩埚内底面高度的上100mm处。