[实用新型]一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置

说明书

本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置。该防脱扣装置用于长晶机内连接重锤和复投器上部的三角挂件；所述复投器，为一利用石英材料所制备的圆筒形容器；所述重锤，其为一由金属钼所制备的圆柱体；所述防脱扣装置，分为两部分，上部为圆柱形腔体结构，下部为底部和侧壁分别设有开口的“碗”形腔体结构；防脱扣装置上部与重锤连接；防脱扣装置下部开口所形成“挂槽”结构，用于三角挂件进出防脱扣装置。本申请所提供的长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置，其结构设计简单，实用性强，对于确保晶棒的稳定化、连续化生产具有较好的实用价值。

技术领域

本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置。

背景技术

半导体晶圆制备中，其生产原料则是晶棒。工业生产中，生产制备晶棒时，通常采用一种可分为主炉室和副仓室的长晶机进行生产制备。基于生产连续化作业需要，在一批晶棒生成完成后，需要利用副仓室上部所设重锤将盛有籽晶的复投器投入到主炉室内。但在复投过程中，由于现有联接件设计缺陷，如果操作不当，一旦复投器与重锤脱离，则会导致复投器停留再真空高温的主炉室内无法取出，进而使得整炉多晶硅原料、复投器等设备都要报废。因此，改进相关连接件是具有十分重要的生产应用价值的。

发明内容

本申请目的在于提供一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置，从而为晶棒的稳定生产奠定一定技术基础。

本申请所采取的技术方案详述如下。

一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置，该防脱扣装置用于长晶机内连接重锤和复投器上部的三角挂件；

所述复投器，为一利用石英材料所制备的圆筒形容器；其中复投器上部的三角挂件通过贯穿复投器中部的螺杆在复投器底部连接有一个三角石英锥；

所述重锤，其为一由金属钼所制备的圆柱体；

所述防脱扣装置，该装置可分为两部分，上部为圆柱形腔体结构，下部为底部和侧壁分别设有开口的“碗”形腔体结构；上部和下部可为一体结构或者设计成可拆卸连接的分体结构；

防脱扣装置上部与重锤连接，可通过螺纹方式（即，重锤底部和防脱扣装置顶部壁体上的分别设有配套的螺纹）、螺栓等方式进行可拆性的稳定连接，或者采用固定连接方式；

防脱扣装置下部开口所形成“挂槽”结构，用于三角挂件进出防脱扣装置，具体应用时，三角挂件与复投器之间的连杆进入“挂槽”后，由于三角挂件上部呈“三角圆锥”形，因此在重力作用下可稳定钩挂于防脱扣装置下部的腔体内）。

实际应用中，为防止复投器投放速度过快时三角挂件与防脱扣装置脱离的风险，在防脱扣装置下部腔体内部对应外壁开口处设有挡板，且挡板规格大于外壁开口规格，这样使得挡板仅可在下部腔体内部自由开合。

具体生产应用中，在复投器内装满多晶硅籽晶后，将复投器与副仓室内的重锤通过防脱扣装置稳定钩挂连接在一起；随后，对副仓室抽真空（真空条件与主炉室内压力条件一样）；再后，打开主炉室与副炉之间的翻板阀，缓慢降复投器；当复投器上法兰降到喉口位置时候，再往下降10-20cm既可将多晶硅籽晶添加到主炉室内的坩埚内。但在此过程中，采用现有技术操作时，如果操作不当，将复投器投放降低程度过大时，即可能造成复投器与重锤的脱离。本申请中，针对这一脱钩风险，通过“单向”挡板设计，确保即使复投器降低程度过大，也不会造成复投器三角挂件与重锤的脱离。多晶硅籽晶投放完成后，再将复投器上升至副仓室，随后盖上翻板阀，并在副炉室内冲入氩气；最后，打开副仓室并取出复投器，即可开始长晶。

总体上，本申请所提供的长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置，其结构设计简单，实用性强，对于确保晶棒的稳定化、连续化生产具有较好的实用价值。

附图说明

图1为多晶硅石英复投器在长晶机内投放示意图；