[实用新型]一种直拉锗晶体用悬浮坩埚

权利要求书

1.一种直拉锗晶体用悬浮坩埚，其特征在于：包括坩埚、外保温罩、悬浮锅、加热筒、底座、托杆；

所述外保温罩与底座连接，所述底座上设有石墨电极，所述加热筒通过石墨螺栓固定设置在石墨电极上方，并且加热筒设置在外保温罩内；

所述坩埚设置在加热筒内，并且所述坩埚底部与托杆固定连接，托杆下端穿过底座，底座上设有供托杆穿出的穿孔；

所述悬浮锅设置在坩埚内，所述悬浮锅与坩埚之间通过限位机构连接，悬浮锅的底部设有进料孔。

2.如权利要求1所述的一种直拉锗晶体用悬浮坩埚，其特征在于：所述外保温罩的顶部设有导流筒，所述导流筒通过压环连接在外保温罩上。

3.如权利要求2所述的一种直拉锗晶体用悬浮坩埚，其特征在于：所述导流筒为上宽下窄的锥形结构。

4.如权利要求1所述的一种直拉锗晶体用悬浮坩埚，其特征在于：所述悬浮锅的外壁上设有多个配重槽孔。

5.如权利要求1所述的一种直拉锗晶体用悬浮坩埚，其特征在于：穿孔处设有护套，所述护套为筒状套设在托杆外部。

6.如权利要求1-5任意一项所述的一种直拉锗晶体用悬浮坩埚，其特征在于：所述限位机构包括多组限位单元，每个限位单元包括限位凸条和限位凹槽，所述限位凸条设置在悬浮锅的外壁上，所述限位凹槽设置在坩埚的内壁上，所述限位凸条滑动套设在限位凹槽内。