[实用新型]一种量子芯片检测系统有效
| 申请号： | 202220453517.6 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN217181137U | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 杨晖;金贤胜 | 申请（专利权）人： | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 量子 芯片 检测 系统 | ||
1.一种量子芯片检测系统，其特征在于，所述量子芯片上形成有量子电路，所述检测系统包括：
第一探测组件，在检测过程中，与所述量子电路的输入端口形成电学连接；
第二探测组件，在检测过程中，与所述量子电路的输出端口形成电学连接；
第一观察组件，用于观察所述第一探测组件与所述输入端口是否接触以形成电学连接；
第二观察组件，用于观察所述第二探测组件与所述输出端口是否接触以形成电学连接；
分别与所述第一探测组件和所述第二探测组件电连接的检测元件，在检测过程中，所述检测元件产生测试电流以测试所述量子电路是否为通路。
2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一观察组件和所述第二观察组件均为显微镜(3)，所述第一探测组件和所述第二探测组件均为探针，在检测过程中，所述显微镜(3)的视野覆盖所述探针的针尖。
3.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述显微镜(3)的中轴线不垂直于所述量子芯片所在的平面。
4.如权利要求3所述的检测系统，其特征在于，各所述中轴线与所述平面之间的夹角均相等。
5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述夹角的取值范围为78－89度。
6.如权利要求2－5任一项所述的检测系统，其特征在于，还包括：
安装在所述显微镜(3)目镜上的相机(4)；
与所述相机(4)相连接的显示器(5)。
7.如权利要求6所述的检测系统，其特征在于，还包括与所述显微镜(3)连接的位移调节组件(2)。
8.如权利要求7所述的检测系统，其特征在于，还包括安装于所述显微镜(3)与所述位移调节组件(2)之间的角位移台。
9.如权利要求6所述的检测系统，其特征在于，还包括机械臂，所述显微镜(3)安装于所述机械臂的自由端。
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