[实用新型]一种合成石英玻璃沉积用节能插板

说明书

本实用新型公开了一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板，所述楼板底部设置有节能插板主体，且节能插板主体包括导轨、光栅尺、第一挡板、第二挡板、第一气缸、第二滑块和观察孔，所述楼板底部设置有导轨和第一气缸，且导轨内侧设置有光栅尺，所述导轨底部设置有第一挡板和第二挡板。该合成石英玻璃沉积用节能插板通过在楼板的底部设置可以横向移动的节能插板主体，在节能插板主体的底部设置滑台，节能插板主体内部的支撑杆下端与滑台连接，实现支撑杆的左右摆动，同时节能插板主体上的第二挡板和第一挡板也可以与支撑杆同步进行摆动还可以达到密封的效果，保证沉积炉内部炉压和气流得稳定，从而保证砣料得均匀，达到节约能源的目的。

技术领域

本实用新型涉及石英加工设备技术领域，具体为一种合成石英玻璃沉积用节能插板。

背景技术

气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分；⑴为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分；⑵为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体；⑶2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内；⑷过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除，⑸真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内；⑥加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制。

目前为了使沉积炉内部在靶面上熔融的玻璃在边部固化定型，通用两种方法：一种是炉底为敞开式，另一种是炉底全封闭形式；敞开式炉底对炉外散失大量辐射热和对流热，且室内需要恒温，造成能源的巨大浪费，同时给室内控温、炉内压力控制以及打砣机滑台热防护造成很大压力；而全封闭式虽然阻隔了热量外散，但坩埚约束需要有足够高度，造成气流反弹紊乱、尾气排出受阻进而导致砣料质量下降和砣料长度较短，同时无法适应为了得到径向均匀性更好而增加的靶杆径向摆动要求，因此需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种合成石英玻璃沉积用节能插板，以解决上述背景技术中提出的炉底为敞开式和炉底全封闭形式的冷却定型方式易造成能源的浪费同时无法满足砣料摆动要求的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板，所述楼板底部设置有节能插板主体，且节能插板主体包括导轨、光栅尺、第一挡板、第二挡板、第一气缸、第二滑块和观察孔，所述楼板底部设置有导轨和第一气缸，且导轨内侧设置有光栅尺，所述导轨底部设置有第一挡板和第二挡板，且第一挡板和第二挡板的左右两侧均设置有第一气缸，所述第一挡板和第二挡板上均开设有弧形缺口，且第二挡板上开设有观察孔，所述导轨内部插设有第二滑块，且第二滑块一侧与第一气缸相连接。

优选的，所述楼板顶部设置有沉积炉，且沉积炉内部插设有砣料，所述砣料下端连接有支撑杆，且砣料上端设置有燃烧器。

优选的，所述第一挡板下端设置有打砣机，且打砣机一侧设置有滑台，并且滑台顶部开设有滑槽，滑槽内部插设有第一滑块。

优选的，所述沉积炉一侧设置有观察窗，且沉积炉的另一侧设置有热电偶，并且热电偶和观察窗下端均设置有废气口。

优选的，所述支撑杆外壁开设有螺纹，且支撑杆外壁螺纹连接有固定套筒。

优选的，所述滑台一侧设置有第二气缸，且第二气缸一侧与第一滑块相连接，所述第一滑块顶部设置有螺纹杆，且螺纹杆上端设置有支撑杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该合成石英玻璃沉积用节能插板通过在楼板的底部设置可以横向移动的节能插板主体，在节能插板主体的底部设置滑台，节能插板主体内部的支撑杆下端与滑台连接，实现支撑杆的左右摆动，同时节能插板主体上的第二挡板和第一挡板也可以与支撑杆同步进行摆动还可以达到密封的效果，保证沉积炉内部炉压和气流得稳定，从而保证砣料得均匀，达到节约能源的目的。

附图说明