[实用新型]双级气冷式罗茨真空泵

说明书

本实用新型涉及抽真空设备技术领域，具体是一种双级气冷式罗茨真空泵，包括泵体，泵体由中壁分隔成第一级泵体和第二级泵体，所述第一级泵体上分别设置有第一进气口、第一排气口及第一返气口，第二级泵体上分别设置有第二进气口、第二排气口及第二返气口，第一排气口通过管路与换热器的输入端连接，换热器的输出端通过管路分别连接第一返气口及第二进气口，所述第二返气口连接第二返气管路，第二返气管路上设置有返气消音装置。本实用新型结构优化，第二级泵体采用空气返气冷却，节省了一个换热装置，实验证明，在实现相同抽真空效果的基础上，本实用新型体积较小，并且制造成本较低。

技术领域

本实用新型涉及抽真空设备技术领域，具体是一种双级气冷式罗茨真空泵。

背景技术

气冷式罗茨真空泵是在普通罗茨真空泵的基础上增加了旁路气体冷却系统。外置冷却器使气体自动进行循环冷却转子与泵体，冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，但对泵的抽气性能没有任何影响。现有技术中，外置冷却器通常选用换热器。

由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，压差小，大约在2000-5000Pa，因此需要配功率大的前级真空泵，能耗较大。为了解决上述问题，现有技术采用两气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高泵的极限真空度，换热器通过返气通道与泵体两腔室相同，能够使压差增大到20000-80000Pa，无需配备前级泵。

上述结构中，两气冷罗茨真空泵需要配备两个换热器，使得整体结构体积较大，占用较大空间，另外，两个换热器增加了制造成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种双级气冷式罗茨真空泵，在保证效果的基础上，减小结构体积，降低制造成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种双级气冷式罗茨真空泵，包括泵体，泵体由中壁分隔成第一级泵体和第二级泵体，所述第一级泵体上分别设置有第一进气口、第一排气口及第一返气口，第二级泵体上分别设置有第二进气口、第二排气口及第二返气口，第一排气口通过管路与换热器的输入端连接，换热器的输出端通过管路分别连接第一返气口及第二进气口，所述第二返气口连接第二返气管路，第二返气管路上设置有返气消音装置，第二返气管路连通外部空气。上述结构中，第一级泵体采用换热器进行返气冷却，第二级泵体采用外部空气进行气体冷却，并且采用返气消音装置，降低返气噪声。

所述第二排气口连接第二排气管路，第二排气管路上设置有排气消音装置，避免产生较大噪声。

所述排气消音装置选用消音器。

所述返气消音装置选用消音器。

具体的，所述泵体内设置有主动转子轴及从动转子轴，二者平行设置，主动转子轴端部设有联轴器，用来连接电机，主动转子轴连接主动齿轮，从动转子轴连接从动齿轮，主动转子轴及从动转子轴通过主动齿轮及从动齿轮传动。

所述第一级泵体内设置有两个第一转子，两个第一转子分别与主动转子轴及从动转子轴连接，所述第二级泵体内设置有两个第二转子，两个第二转子分别与主动转子轴及从动转子轴连接。

本实用新型所达到的有益效果是：

本实用新型结构优化，第二级泵体采用空气返气冷却，节省了一个换热装置，实验证明，在实现相同抽真空效果的基础上，本实用新型体积较小，并且制造成本较低。

另外，本实用新型在空气返气管路及第二排气管路增加了消音装置，降低噪声，提高使用效果。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：