[实用新型]一种匀流板及硅片清洗槽有效
| 申请号： | 202220512108.9 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN217043763U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 左国军;汤和平;余兴梅;万红朝 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 匀流板 硅片 清洗 | ||
1.一种匀流板，其特征在于，包括弹性板体，所述弹性板体上间隔设置有多个匀流区域，多个所述匀流区域分别贯穿设置有多个匀流孔，任意相邻的两个所述匀流区域之间设置有凹槽，所述凹槽的槽底厚度小于多个所述匀流区域的厚度。
2.根据权利要求1所述的匀流板，其特征在于，多个所述匀流区域沿所述弹性板体的第一方向依次间隔设置。
3.根据权利要求2所述的匀流板，其特征在于，所述凹槽沿所述弹性板体的第二方向贯穿所述弹性板体。
4.根据权利要求2所述的匀流板，其特征在于，多个所述凹槽沿所述弹性板体的第一方向依次并列排布。
5.根据权利要求4所述的匀流板，其特征在于，多个所述凹槽沿所述弹性板体的厚度方向凹设于所述弹性板体的同一侧上。
6.根据权利要求1所述的匀流板，其特征在于，所述凹槽设置有底壁、第一侧壁及第二侧壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁分别设置于所述底壁相对的两侧，所述第一侧壁与所述第二侧壁均呈凹弧形。
7.根据权利要求6所述的匀流板，其特征在于，所述第一侧壁与所述第二侧壁所对圆心角的度数处于85°至105°之间。
8.根据权利要求1所述的匀流板，其特征在于，在所述弹性板体的第一方向上任意相邻的两个所述匀流孔错位设置。
9.根据权利要求1所述的匀流板，其特征在于，在所述弹性板体的第二方向上任意相邻的两个所述匀流孔错位设置。
10.一种硅片清洗槽，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的匀流板。
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