[实用新型]一种等温式退火装置

权利要求书

1.一种等温式退火装置，包括退火箱和输气管，其特征在于，所述退火箱的外侧壁上设置有侧进气腔，所述退火箱的顶部设置有上进气腔，所述输气管包括输气总管以及设置于输气总管上的侧输气支管和上输气支管，所述侧输气支管和上输气支管分别与侧进气腔和上进气腔连通，所述侧进气腔和上进气腔上均设置有若干均匀排列的布气孔，所述布气孔用于向退火箱内供应热空气。

2.根据权利要求1所述的一种等温式退火装置，其特征在于，所述退火箱内设置有支撑柱，所述支撑柱上设置有支撑架，所述支撑架用于放置工件。

3.根据权利要求2所述的一种等温式退火装置，其特征在于，所述支撑架由两根竖条和若干根横条构成，所述横条均匀排列在两根竖条之间。

4.根据权利要求1所述的一种等温式退火装置，其特征在于，所述侧输气支管和上输气支管上分别设置有第一开度阀和第二开度阀。

5.根据权利要求2所述的一种等温式退火装置，其特征在于，所述支撑柱位于退火箱内底部的中心位置。