[实用新型]一种晶圆跳片检测机构

说明书

本申请涉及一种晶圆跳片检测机构，包括：支撑杆，固定座和两组对射传感器，两组对射传感器分别设置在传感器固定板上，对射传感器中的发射端发出的光线能够穿过过孔达到另一侧的接收端。传感器固定板上设置的过孔能够使对射传感器发射端发出的光线呈与过孔相同的形状，防止对射传感器发射端发出的过宽的光线而造成的感应不灵敏的问题。

技术领域

本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆跳片检测机构。

背景技术

晶圆生产设备中，不管是晶圆盒承载晶圆或者无晶圆盒直接支撑固定的方式，都需要对晶圆的状态进行监控，比如使用光电传感器来感应晶圆的边缘，当晶圆准确放置时，光电传感器的光线擦着晶圆边缘，当晶圆放置位置不准确时(部分晶圆更高)，则会挡住光电传感器，然而现有的光电传感器不管是发射端还是接收端，发出的光线宽度较宽，容易导致误判，即位置准确也容易报错。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种检测灵敏的晶圆跳片检测机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆跳片检测机构，包括：

支撑杆，为4个，设置于晶圆片的四角；

固定座，为4个并分别设置在支撑杆上，包括用于直接与支撑杆连接的第一固定板，与第一固定板垂直的第二固定板，设置在第二固定板上的传感器固定板，所述传感器固定板上设置有过孔；

两组对射传感器，分别设置在传感器固定板上，对射传感器中的发射端发出的光线能够穿过过孔达到另一侧的接收端。

优选地，本实用新型的晶圆跳片检测机构，安装有发射端的对射传感器上的传感器固定板的过孔的直径为1-2mm。

优选地，本实用新型的晶圆跳片检测机构，安装有接收端的对射传感器上的传感器固定板的过孔的直径大于安装有发射端的对射传感器上的传感器固定板的过孔。

优选地，本实用新型的晶圆跳片检测机构，所述第一固定板上具有水平安装孔。

优选地，本实用新型的晶圆跳片检测机构，第二固定板上具有竖直安装孔。

优选地，本实用新型的晶圆跳片检测机构，所述支撑杆具有水平板，且水平板上设置有长条孔。

优选地，本实用新型的晶圆跳片检测机构，所述传感器固定板上沿竖直方向设置有若干直径不等的过孔，以便于根据实际情况选择合适大小的过孔。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的晶圆跳片检测机构，传感器固定板上设置的过孔能够使对射传感器发射端发出的光线呈与过孔相同的形状，防止对射传感器发射端发出的过宽的光线而造成的感应不灵敏的问题。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的晶圆跳片检测机构的结构示意图；(图中两个对射传感器的之间的连线为光线)

图2是本申请实施例的晶圆跳片检测机构的单侧的结构示意图；

图3是本申请实施例的支撑架的结构示意图；

图中的附图标记为：

1 支撑杆；

2 固定座；

4 对射传感器；

8 晶圆承载装置；

9 晶圆；

21 第二固定板；

22 第一固定板；