[实用新型]一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统

说明书

本实用新型提出一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，将水冷系统代替原有的气冷系统，水冷系统由进水主路与回水主路组成，通过在进水主路与回水主路两端设有多根并联的冷却水管，相邻的冷却水管两端在水冷系统的进水主路上设有开关阀，冷却水管从上至下依次连接有快插头、水冷降温组件、流量计、手动阀，水冷系统与水泵通过水冷系统的回水主路连接，水由冷却塔输出端进入板式换热器进行冷却后由板式换热器输出端进入水冷系统，通过快插头、水冷降温组件、流量计、手动阀，即水冷系统进行冷却动作后将升温后的水通过水泵、板式换热器回到冷却塔内，通过水冷系统进行散热，提高降温效果，且系统为循环的水冷系统，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，更具体地，涉及一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统。

背景技术

在真空镀膜的方法中有一种物理气相沉积(PVD,physical Vapor Deposition)技术，它是将靶材(所镀薄膜材料)在真空环境下，经过物理过程，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，而沉积在基体(需镀膜工件)表面的过程。制备硬质反应膜大多以物理气相沉积方法制得，它利用某种物理过程，如物质的热蒸发，或受到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。提高被镀膜工件的硬度、耐磨度等性能，延长使用寿命。

在镀膜的过程中，需要冷却系统对纳米涂层机偏压电路进行降温。

现有的纳米涂层机偏压电路采用气冷系统进行降温，气冷系统降温能耗大且易故障导致设备生产效率低下。

有鉴于此，本申请提供一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，提高纳米涂层机偏压电源工作散热效果，降低纳米涂层机偏压电源故障率，且水冷系统为可循环系统，降低散热的生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，提高纳米涂层机偏压电源工作散热效果，降低纳米涂层机偏压电源故障率，且水冷系统为可循环系统，降低散热的生产成本。

本实用新型提出的一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，将水冷系统代替原有的气冷系统，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，通过在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，通过快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，即水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内，通过水冷系统进行散热，提高降温效果。

一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其包括：水泵1、水冷系统2、板式换热器3、补水装置4、冷却塔5，其特征在于：冷却塔5与板式换热器3一端循环连接，板式换热器3的另一端与水冷系统2循环连接，水冷系统2与补水装置4并联连接，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，由水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内。

进一步的，所述水冷降温组件26由多根并联的水管组成,水管上连接设有热交换器262，水冷降温组件26通过进水管261与快插头25连接，水冷降温组件26通过回水管263与流量计27连接，热交换器262通过进水管261与进水主路21连接，热交换器271通过回水管263与回水主路22连接。

进一步的，所述流量计27连接在冷却水管23上，用于监测水流流量。