[实用新型]一种蒸发镀膜设备有效
申请号: | 202220557563.0 | 申请日: | 2022-03-15 |
公开(公告)号: | CN217459586U | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 孙中奎;常飞;杜炳纯;张殿德 | 申请(专利权)人: | 森霸传感科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/24;B01D46/10;B01D46/88 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 余志军 |
地址: | 473300*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸发 镀膜 设备 | ||
本实用新型公开了一种蒸发镀膜设备,包括安装座,安装座的顶部固定安装有设备本体,设备本体的顶部设置有顶盖,顶盖的两端与设备本体的连接处设置有连接组件,顶盖的底部设置有废气处理组件。本实用新型采用上述结构,打开风机,风机通过吸气管和吸气罩对设备本体内部产生的气体和粉尘进行吸附,吸气罩底部的隔尘机构可以对粉尘进行隔离,防止粉尘堵塞吸气管和排气管,有害气体通过排气管排入处理箱内进行处理,从而可以对镀膜设备产生的气体进行处理,隔尘机构中的隔尘组件中设置有隔尘网,镀膜操作产生的粉尘会在风机的作用下附着在隔尘网上,从而可以有效的防止有害粉尘和气体对操作人员的身体健康产生威胁。
技术领域
本实用新型属于真空镀膜领域,特别涉及一种蒸发镀膜设备。
背景技术
有机发光器件因为具有平面化、高对比度、重量轻、可视度佳等特点,近年来广受关注。典型有机发光器件的结构如三明治结构,阳极为透明的导电玻璃,具有较高的功函数,阴极为低功函数金属,阴极与阳极之间加入一层有机发光薄膜层,在合适的工作电压下便可发光;为了改善其性能,通常在阳极与有机发光薄膜层间加一层空穴传输层,在阴极与有机发光薄膜层间加一层电子传输层,在有机发光器件的生产过程中,很多结构层都依靠镀膜工艺生成,因此,镀膜技术在有机发光器件众多膜层的形成过程中扮演着相当重要的角色,特别是较为成熟的真空蒸发镀膜技术,在有机发光器件的形成过程中被广泛应用;所谓真空蒸发镀膜是把待镀膜的基片或工件置于真空室内,通过加热使蒸发材料气化而沉积到某一温度的基片或工作表面上,从而形成一层薄膜。
然而,现有的蒸发镀膜设备在镀膜操作时,会产生有害气体以及粉尘,从而会对操作人员的身体健康造成威胁。
实用新型内容
针对背景技术中提到的问题,本实用新型的目的是提供一种蒸发镀膜设备,以解决镀膜产生的有害气体和粉尘不便于处理的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种蒸发镀膜设备,包括安装座,所述安装座的顶部固定安装有设备本体,所述设备本体的顶部设置有顶盖,所述顶盖的两端与设备本体的连接处设置有连接组件,所述顶盖的底部设置有废气处理组件,所述废气处理组件与顶盖的连接处设置有支撑组件,所述废气处理组件的底部设置有隔尘机构。
通过采用上述技术方案,通过设置废气处理组件,打开风机,风机通过吸气管和吸气罩对设备本体内部产生的气体和粉尘进行吸附,吸气罩底部的隔尘机构可以对粉尘进行隔离,防止粉尘堵塞吸气管和排气管,有害气体通过排气管排入处理箱内进行处理,从而可以对镀膜设备产生的气体进行处理,隔尘机构中的隔尘组件中设置有隔尘网,镀膜操作产生的粉尘会在风机的作用下附着在隔尘网上,从而可以有效的防止有害粉尘和气体对操作人员的身体健康产生威胁,通过设置第二把手和连接组件,拉动第二把手可以将连接组件中的插接块从插接槽内取出,从而可以将顶盖从设备本体的顶部取下,通过拉动第一把手,使得滑条在滑槽的内侧滑动,并且定位结构中的限位销从限位槽的内侧脱落,从而可以将固定框从固定条之间取出,便于对固定框内侧隔尘网进行清洗。
进一步地,作为优选技术方案,所述连接组件包括插接槽和插接块,所述顶盖的两侧均固定连接有插接块,所述设备本体的顶部开设有插接槽,所述插接块插接在插接槽的内侧。
通过采用上述技术方案,通过设置连接组件,将插接块插接在插接槽的内侧,可以将顶盖稳定的安装在设备本体的顶部。
进一步地,作为优选技术方案,所述废气处理组件包括处理箱,所述处理箱的右端固定连接有排气管,所述排气管的右端固定安装有风机,所述风机的底部固定连接有吸气管,所述吸气管的底部固定连接有吸气罩。
通过采用上述技术方案,通过设置废气处理组件,通过打开风机,使得吸气罩配合吸气管对设备本体内产生的气体进行吸附,并通过排气管将气体输入处理箱内进行处理,可以有效的处理镀膜操作产生的有害气体。
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