[实用新型]一种激光加工设备的光源截取装置

说明书

本实用新型提供了一种激光加工设备的光源截取装置，属于半导体加工和激光加工应用技术领域；包括沿同一轴线方向依次设置的基座、连接部、第一光阑座和至少一个第二光阑座，基座的远离连接部的一侧安装于激光加工设备上，第一光阑座和连接部插接连接，第二光阑座中，第一个第二光阑座与第一光阑座插接连接，其余的第二光阑座依次与前一个第二光阑座插接连接；入射光源首先进入末端的第二光阑座，并依次被设置于第二光阑座和第一光阑座内的多个孔径由大至小排列的孔径光阑截取，最终穿过基座出射至待加工零件表面；本光源截取装置能灵活组装，设置多个孔径光阑，分散热负担，最终保证加工光斑的尺寸和能量分布，稳定加工设备。

技术领域

本实用新型属于半导体加工和激光加工应用技术领域，具体涉及一种激光加工设备的光源截取装置。

背景技术

如今的半导体加工用激光设备的光路组成中，普遍使用的激光加工光斑首先需要经过整形和聚焦处理，随后，为了精确控制加工光斑的大小，通常使用一个孔径光阑来截取经过整形聚焦后的加工光斑中间能量平顶分布的部分；由于该孔径光阑处于焦平面，所承受的热负担比较大，长期使用会发生变形，损坏，从而影响最终加工光斑的尺寸和能量分布，也给加工设备的稳定性，半导体工艺的重复性和一致性带来了隐患；现有的激光光源截取装置，也无法方便的实现孔径光阑的拆装，在解决分散热负担的过程中难度较大。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决单个孔径光阑承受的热负担较大，且拆装过程不灵活的问题，本实用新型提供的截取装置能灵活组装，设置多个孔径光阑，分散热负担，最终保证加工光斑的尺寸和能量分布，稳定加工设备。

本实用新型采用了以下技术方案来实现目的：

一种激光加工设备的光源截取装置，包括沿同一轴线方向依次设置的均具有同轴通道的基座、连接部、第一光阑座和至少一个第二光阑座，所述基座的远离连接部的一侧安装于激光加工设备上，所述第一光阑座和连接部插接连接，所述第二光阑座中，首个第二光阑座与第一光阑座插接连接，其余的第二光阑座依次与前一个第二光阑座插接连接；入射光源首先进入末端的第二光阑座，并依次被设置于第二光阑座和第一光阑座内的多个孔径由大至小排列的孔径光阑截取，最终穿过基座出射至待加工零件表面。

具体的，所述入射光源的光斑为经过整形和聚焦后的能量均匀的平顶光斑。

进一步的，所述第一光阑座的靠基座一侧设有连接端，与所述连接端形状匹配的容纳腔设置于连接部的侧面，第一光阑座通过连接端与连接部插接连接。

优选的，还设置有第一插销，所述第一光阑座的连接端上部开设第一插销孔，第一光阑座与连接部插接连接后，第一插销通过设置于连接部顶面的通孔插入第一插销孔内。

进一步的，所述第一光阑座与第二光阑座的远离基座一侧四角设置有插接孔，所述第二光阑座的靠基座一侧四角设置有与插接孔匹配的插接块；第二光阑座与第一光阑座之间，第二光阑座与另一个第二光阑座之间均通过插接块插接连接。

优选的，还设置有第二插销，所述插接块的侧面开设第二插销孔，第二光阑座通过插接块与第一光阑座或另一个第二光阑座插接连接后，第二插销通过设置于第二光阑座侧面的通孔插入第二插销孔内。

进一步的，所述第一光阑座和第二光阑座的同一侧设有开口，内部设有插槽，所述孔径光阑上设有和插槽相匹配的凸条，第一光阑座和第二光阑座内均插接安装有孔径光阑。

进一步的，所述多个孔径光阑为孔径可调式光阑，其孔径尺寸沿入射光源的方向逐渐缩小。

具体的，所述孔径光阑的孔径形状为矩形、方形或圆形中的一种。

可选的，所述孔径光阑的材质为硅、不锈钢、蓝宝石和碳化硅中的一种。

综上所述，由于采用了本技术方案，本实用新型的有益效果如下：