[实用新型]一种玻璃晶圆平面度检测装置

权利要求书

1.一种玻璃晶圆平面度检测装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)上设置有工作台(11)，所述工作台(11)上设置有放置机构(2)，所述放置机构(2)上方设置有检测机构(3)，

所述放置机构(2)包括放置底座(21)，所述放置底座(21)中部还设置有放置台(22)；

所述检测机构(3)包括检测机架(31)，所述检测机架(31)上端设置有安装板(32)，所述安装板(32)上设置有检测气缸(33)，所述检测气缸(33)下方移动连接有移动板(34)，所述移动板(34)上设置有若干检测探头(35)。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述放置台(22)中部开设有放置槽(23)，所述放置槽(23)与玻璃晶圆相适应。

3.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述检测探头(35)位于所述放置台(22)正上方。

4.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述移动板(34)下端还设置有若干限位块(36)，所述限位块(36)通过螺栓与所述移动板(34)连接固定。

5.根据权利要求4所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述限位块(36)下端与所述放置底座(21)相接触，所述限位块(36)下方还设置有橡胶垫。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述检测探头(35)与所述放置槽(23)不接触。