[实用新型]从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统

说明书

本实用新型属于电子化学技术领域，具体公开了一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统，包括依次通过管道连通的溶液储罐、第一反应釜、第二反应釜、电解槽和反渗透装置；所述溶液储罐通过管道连接有甲醇纯化装置和三甲胺纯化装置；所述第一反应釜通过管道连接有碳酸二甲脂纯化装置；所述第二反应釜通过管道连接有高纯水储罐。本实用新型从原材料进行纯化，生产过程进行控制，并对生成的四甲基碳酸氢铵进行处理，可以得到高纯度的四甲基碳酸氢铵，进而制备电子级四甲基氢氧化铵，使生产的四甲基氢氧化铵达到电子级。

技术领域

本实用新型属于电子化学技术领域，特别涉及一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统。

背景技术

四甲基氢氧化铵，简称TMAH，是一种有机碱，因其在较低的加热温度下即可分解变为气体，作为催化剂来应用不残留，在工业上有广泛的应用，如可用于硅橡胶、硅树脂和硅油等有机硅产品合成中的催化剂。因TMAH 独特的热分解性质，在电子化学品行业，主要用做印刷电路板的光刻显影剂，硅晶片蚀刻剂以及微电子芯片制造中的清洗剂。

目前生产四甲基氢氧化铵的方法主要为电解法。分二步制成：第一步四甲基碳酸氢铵的合成；第二步通过离子膜电解的方法将四甲基碳酸氢铵转化为最终产品四甲基氢氧化铵。

而目前市场上售卖的四甲基碳酸氢氨都是工业级的，含有较高的杂质离子，无法满足生产电子级四甲基氢氧化铵的要求。用于有机硅单体催化聚合时,严重影响有机硅产品特性,更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。用工业级四甲基碳酸氢铵生产四甲基氢氧化铵要达到电子级要求，后续提纯工艺繁琐，成本高，精益效益下降。

因此，提供一种新的电子级四甲基氢氧化铵制备系统是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中四甲基氢氧化铵提纯困难的缺陷，提供一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统。

本实用新型提供了一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统，包括依次通过管道连通的原料储罐、第一反应釜、第二反应釜、电解槽和反渗透装置；

所述原料储罐包括碳酸二甲酯储罐、三甲胺储罐和甲醇储罐；

所述碳酸二甲酯储罐、所述三甲胺储罐和所述甲醇储罐分别通过管道与所述第一反应釜连接；

所述碳酸二甲酯储罐与所述第一反应釜之间设置有第一纯化装置，所述第一纯化装置分别与所述碳酸二甲酯储罐和所述第一反应釜通过管道连接；

所述三甲胺储罐与所述第一反应釜之间设置有第二纯化装置，所述第二纯化装置分别与所述三甲胺储罐和所述第一反应釜通过管道连接；

所述甲醇储罐与所述第一反应釜之间设置有第三纯化装置，所述第二纯化装置分别与所述甲醇储罐和所述第一反应釜通过管道连接；

所述第二反应釜通过管道连接有高纯水储罐；

所述第一反应釜用于进行脱甲基化反应；

所述第二反应釜用于进行水解反应。

进一步的方案为，所述第一纯化装置包括水洗装置；

所述第二纯化装置为精馏装置；

所述第三纯化装置为萃取精馏装置。

进一步的方案为，所述萃取精馏装置中的萃取剂选自二甲基亚砜、N- 甲基二乙醇胺、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮中的至少一种。

进一步的方案为，所述第一反应釜和所述第二反应釜之间设置有第一减压蒸馏罐和第二常压蒸馏罐；

所述第一反应釜、第一减压蒸馏罐、第二常压蒸馏罐和所述第二反应釜通过管道连接；