[实用新型]一种晶圆对准装置

说明书

本实用新型提供一种晶圆对准装置，用于将带有缺口的晶圆的转动至预设位置，所述晶圆对准装置包括：伯努利吸盘，用于吸附并带动所述晶圆转动；若干圆周分布的垫块，位于所述伯努利吸盘的吸附面上，且所述垫块的顶面具有台阶，所述台阶的台阶面靠近所述伯努利吸盘的中心，所述晶圆放置于所述垫块的台阶面上，所述垫块限制所述晶圆在水平方向上的位移，有效防止当所述伯努利吸盘带动所述晶圆转动及停止转动时，所述晶圆由于惯性及所述伯努利吸盘吸附不牢固而发生的位移，保证晶圆对准的精度，提高产品的良率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆对准装置。

背景技术

晶圆对准装置(Aligner)是一种应用于晶圆加工中的晶圆预对准装置，主要功能是利用晶圆上的缺口(Notch)将晶圆调整至预设位置，保证在进行下一级加工时，所有的晶圆均处于相同的位置，方便后续工艺的进行。

现有的晶圆对准装置主要采用真空吸附的方式来固定所述晶圆，若晶圆对准装置对所述晶圆的吸附不稳定，当晶圆对准装置带动所述晶圆开始或停止转动时，所述晶圆会发生平移和/或旋转，影响所述晶圆对准的精度，严重影响后续工艺中半导体器件的良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆对准装置，防止晶圆在晶圆对准过程中移动，提高晶圆对准的精度。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种晶圆对准装置，用于将带有缺口的晶圆转动至预设位置，包括：

伯努利吸盘，用于吸附并带动所述晶圆转动；

若干圆周分布的垫块，位于所述伯努利吸盘的吸附面上，且所述垫块的顶面具有台阶，所述台阶的台阶面靠近所述伯努利吸盘的中心，所述晶圆放置于所述垫块的台阶面上。

可选的，所述晶圆包括衬底及形成于所述衬底上的功能层，所述晶圆放置于所述垫块的台阶面上时，所述衬底较所述功能层更靠近所述伯努利吸盘。

可选的，所述晶圆放置于所述垫块的台阶面上时，所述晶圆的边缘与所述台阶的侧壁接触。

可选的，所述晶圆进行了Taiko环减薄工艺。

可选的，所述垫块可拆卸地设置于所述伯努利吸盘的吸附面上。

可选的，所述垫块在所述吸附面上的投影的形状为矩形。

可选的，所述垫块在所述吸附面上的投影的形状圆弧形。

可选的，还包括：

机械手，用于夹持并从所述伯努利吸盘上取放所述晶圆。

可选的，所述垫块的材料为弹性材料。

可选的，所述晶圆对准装置还包括：

对准模块，用于检测所述晶圆上的缺口。

本实用新型提供一种晶圆对准装置，用于将带有缺口的晶圆的转动至预设位置，所述晶圆对准装置包括：伯努利吸盘，用于吸附并带动所述晶圆转动；若干圆周分布的垫块，位于所述伯努利吸盘的吸附面上，且所述垫块的顶面具有台阶，所述台阶的台阶面靠近所述伯努利吸盘的中心，所述晶圆放置于所述垫块的台阶面上，所述垫块限制所述晶圆在水平方向上的位移，有效防止当所述伯努利吸盘带动所述晶圆转动及停止转动时，所述晶圆由于惯性及所述伯努利吸盘吸附不牢固而发生的位移，保证晶圆对准的精度，提高产品的良率。

另外，当所述晶圆放置在所述垫块的台阶面上时，所述晶圆的边缘与所述台阶的侧壁接触，增加所述晶圆与所述垫块之间的摩擦力，防止所述晶圆对准过程中发生角度偏移，进一步保证晶圆对准的准确性。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种晶圆对准装置的结构示意图；