[实用新型]一种晶圆测试针加工的高精密加工装置

权利要求书

1.一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，包括加工底板(1)，其特征在于：所述加工底板(1)的上表面固定安装有龙门架(2)，所述龙门架(2)的上表面固定安装有十字稳定架(3)，所述十字稳定架(3)的上表面设有可滑动的滑动横板(4)，所述滑动横板(4)的上表面固定安装有稳定立板(5)，所述稳定立板(5)的内侧面固定安装有弹性夹持装置(6)，所述稳定立板(5)内侧面的底部固定安装有延伸横板(7)，所述延伸横板(7)的上表面设有可滑动的滑动支架(8)，所述滑动支架(8)的顶部设有可转动的联动杆(9)，所述滑动支架(8)的内侧面固定安装有夹持弧板(10)，所述十字稳定架(3)的上表面设有可转动的转动圆盘(11)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述龙门架(2)顶部内壁固定安装有电动推杆(12)，电动推杆(12)的输出端固定安装有钻头(13)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述弹性夹持装置(6)包括固定安装在稳定立板(5)内侧面顶部的固定支架(601)，固定支架(601)的内侧设有可转动的挤压杆(602)，挤压杆(602)的内侧设有可转动的弧形夹持架(603)，弧形夹持架(603)的外侧面固定安装有与稳定立板(5)的内侧面相连接的挤压弹簧柱(604)，弧形夹持架(603)的外侧面固定安装有稳定轴(605)，稳定轴(605)的外表面设有可转动的推动杆(606)，推动杆(606)的底部可转动的设有与稳定立板(5)的内侧面相互滑动的移动支架(607)并与联动杆(9)的顶部转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述十字稳定架(3)的上表面开设有T形滑槽，T形滑槽的尺寸与滑动横板(4)的尺寸相适配。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述转动圆盘(11)的上表面开设有弧形通孔，滑动横板(4)的上表面固定安装有移动柱，弧形通孔与移动柱相适配。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述十字稳定架(3)的上表面开设有转动滑槽，转动圆盘(11)的下表面固定安装有转动滑块，转动滑槽与转动滑块转动连接。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述挤压杆(602)的数量为八组，八组挤压杆(602)的中部均贯穿有连接轴。

8.根据权利要求3所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述稳定立板(5)内侧面的中部开设有稳定滑槽，移动支架(607)的外侧面固定安装有稳定滑块，稳定滑槽与稳定滑块滑动连接。

9.根据权利要求3所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述夹持弧板(10)和弧形夹持架(603)的内侧面均固定安装有防滑凸块。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆测试针加工的高精密加工装置，其特征在于：所述延伸横板(7)的上表面开设有移动滑槽，滑动支架(8)的下表面固定安装有移动滑块，移动滑槽与移动滑块相适配。