[实用新型]分流装置有效
申请号: | 202220650130.X | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN217544549U | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 洪成都;曾麒文 | 申请(专利权)人: | 苏州桔云科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人: | 王云红;翟姝红 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分流 装置 | ||
1.一种分流装置,用于分流化学药液和清洁液,其特征在于,所述分流装置包括:
座体结构;
壳体,包含彼此组合的罩盖和槽体,所述槽体具有内围流道和外围流道;
中柱结构,立设于所述座体结构且具有内段,所述内段伸入所述壳体内,所述化学药液和清洁液皆朝所述内段喷洒;
升降板,受动于所述座体结构而升降;
内分流罩,在所述壳体内环绕固定于所述中柱结构且具有对应于所述内围流道的第一外周缘;以及
外分流罩,在所述壳体内同轴环绕所述内分流罩且具有对应于所述外围流道的第二外周缘,所述外分流罩受动于所述升降板而能相对于所述内分流罩上升至靠近所述罩盖和下降至远离所述罩盖;
其中,所述外分流罩经由受动上升而与所述内分流罩错开,所述清洁液经由所述第一外周缘而落入所述内围流道;所述外分流罩经由受动下降而与所述内分流罩共同组合成遮罩,所述化学药液经由所述第二外周缘而落入所述外围流道。
2.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述座体结构包含固定座和设置于所述固定座的至少一个驱动器,所述中柱结构立设于所述固定座,所述至少一个驱动器驱动所述升降板升降。
3.如权利要求2所述的分流装置,其特征在于,所述固定座设有至少一个导杆,所述至少一个导杆可活动地穿插所述升降板,所述至少一个导杆导引所述升降板升降。
4.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述内段具有顶部,所述顶部高出于所述内分流罩和所述外分流罩,所述化学药液和所述清洁液皆先朝所述顶部喷洒再流过所述内分流罩。
5.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述升降板设有至少两个连杆,所述至少两个连杆可活动地穿过所述槽体并固定于所述外分流罩。
6.如权利要求5所述的分流装置,其特征在于,所述槽体设有至少两个穿孔,各所述连杆分别可活动地穿插于各所述穿孔。
7.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述壳体静置不动地与所述座体结构彼此相对配置。
8.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述罩盖为静置不动的罩盖。
9.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,还包括至少一个喷液器,所述至少一个喷液器设置于所述壳体之外,所述壳体开设有上开口,所述至少一个喷液器经由所述上开口将所述化学药液和清洁液喷洒到所述壳体内。
10.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述内围流道的内底面与所述外围流道的内底面彼此等高。
11.如权利要求1所述的分流装置,其特征在于,所述槽体具有至少三个上凸环墙,所述遮罩具有至少两个下凸环墙,各所述上凸环墙分别与各所述下凸环墙彼此相向且彼此间隔并排,所述至少三个上凸环墙和所述至少两个下凸环墙彼此交错,所述槽体在所述至少三个上凸环墙之间形成有所述内围流道和所述外围流道。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造