[实用新型]一种单自由度主被动组合式隔振基座

说明书

本实用新型提供了一种单自由度主被动组合式隔振基座，包括顶板、柔性铰链、支腿和底座，所述顶板底部的两端和中间处分别连接柔性铰链，所述柔性铰链底部两端连接分别连接支腿，所述柔性铰链底部中间连接有音圈电机，所述支腿底部连接底座，所述底座上安装有控制器，所述顶板底部连接有速度传感器。本实用新型顶板通过焊接多根横梁板和纵梁板，提高了基座刚度，通过橡胶垫块和柔性铰链组合设计，能够实现迅速减少高频干扰，并通过音圈电机实现低频隔振，具有较宽的隔振带，能够高精度定位；本实用新型结构简单，隔振带宽，能够实现对0.5Hz~150Hz振动的有效隔振，对高频和低频干扰都具有较好的隔振效果，防微振等级可达VC‑E级。

技术领域

本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种单自由度主被动组合式隔振基座。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。

由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。精密仪器所处环境不是单一的高频振动或低频振动，是多种频率的复杂的震动环境，而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种单自由度主被动组合式隔振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种单自由度主被动组合式隔振基座，包括顶板、柔性铰链、支腿和底座，所述顶板底部的两端和中间处分别连接柔性铰链，所述柔性铰链底部两端连接分别连接支腿，所述柔性铰链底部中间连接有音圈电机，所述支腿底部连接底座，所述底座上安装有控制器，所述顶板底部连接有速度传感器。

进一步地，所述顶板由不锈钢板焊接成无底板的矩形框体，所述顶板内部焊接有横梁板和纵梁板，所述横梁板与纵梁板交叉垂直焊接，整体内部形成多个矩形框。

进一步地，所述柔性铰链包括三个并排的刚性支柱，所述刚性支柱顶部连接有第一片簧，所述刚性支柱底部连接有第二片簧。

进一步地，所述音圈电机与柔性铰链之间还连接有解耦装置。

进一步地，所述顶板与柔性铰链之间还连接有橡胶垫块。

进一步地，所述支腿与底座之间还连接有垫板，所述垫板由不锈钢板制成矩形结构。

进一步地，所述支腿由方钢管制成。

进一步地，所述底座由不锈钢板制成矩形结构。

进一步地，所述控制器通过电缆与速度传感器、音圈电机连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型顶板通过焊接多根横梁板和纵梁板，提高了基座刚度，通过橡胶垫块和柔性铰链组合设计，能够实现迅速减少高频干扰，并通过音圈电机实现低频隔振，具有较宽的隔振带，能够高精度定位；本实用新型结构简单，隔振带宽，能够实现对0.5Hz~150Hz振动的有效隔振，对高频和低频干扰都具有较好的隔振效果，防微振等级可达VC-E级。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的顶板结构示意图。