[实用新型]测试座及测试分选机

说明书

本申请涉及半导体生产技术领域，提供了一种测试座及测试分选机，该测试座包括：固定板，固定板具有相对的第一端和第二端，固定面的其中一面上设置有导向部和限位块，导向部沿第一端和第二端的连线方向延伸，限位块设置在第一端；移动板，移动板靠近固定板的一面上设置有配合部，配合部沿平行于导向部的方向延伸，配合部与导向部滑动连接；及锁紧部件，锁紧部件包括转动件和锁紧件，转动件的一端与第二端转动连接，转动件远离第二端的一端设置有锁紧螺纹孔，锁紧件配合穿设在锁紧螺纹孔内，锁紧件的一端抵持移动板，以使得移动板的一端与限位块抵接。本申请之测试座，生产测试效率高，且精度高，稳定性佳。

技术领域

本申请涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种测试座及测试分选机。

背景技术

随着全球半导体工业快速发展，IC(Integrated Circuit Chip，集成电路)等半导体产品的尺寸越来越小，产能也在不断的提高，因此对于半导体产品进行测试的测试分选机的要求也随之加高。

传统的测试分选机在使用过程中，其常规测试工位的测试座都是采用多个零件组装后，再直接安装在分选机的基板上，由于测试座无法快速的进行拆装，导致生产效率较低，且靠零件加工精度和调节安装间隙来保证组装精度的测试座精度较低，无法满足测试分选机的高精度和高稳定性的要求。

实用新型内容

基于上述问题，本申请提供了一种测试座及测试分选机，以提高生产检测效率，并满足测试分选机的高精度和高稳定性的要求。

本申请第一方面的实施例提供了一种测试座，包括：

固定板，所述固定板具有相对的第一端和第二端，所述固定板的其中一面上设置有导向部和限位块，所述导向部沿所述第一端和所述第二端的连线方向延伸，所述限位块设置在所述第一端；

移动板，所述移动板靠近所述固定板的一面上设置有配合部，所述配合部沿平行于所述导向部的方向延伸，所述配合部与所述导向部滑动连接；及

锁紧部件，所述锁紧部件包括转动件和锁紧件，所述转动件的一端与所述第二端转动连接，所述转动件远离所述第二端的一端设置有锁紧螺纹孔，所述锁紧件配合穿设在所述锁紧螺纹孔内，所述锁紧件的一端抵持所述移动板，以使得所述移动板的一端与所述限位块抵接。

在其中一些实施例中，所述转动件包括依次相连的第一杆、第二杆和第三杆，所述固定板位于所述第一杆和所述第三杆之间，所述第一杆远离所述第二杆的一端、所述第三杆远离所述第二杆的一端均与所述第二端转动连接，所述锁紧螺纹孔设置在所述第二杆上。

在其中一些实施例中，所述移动板远离所述固定板的一面上具有接触部，所述接触部位于所述移动板远离所述限位块的一端，所述接触部远离所述限位块的一面设置为斜面，所述锁紧件的一端抵持于所述斜面。

在其中一些实施例中，所述固定板的一侧面上设置有多个第一安装孔，多个所述第一安装孔沿所述第一端和所述第二端的连线方向间隔设置；所述移动板的一侧面上设置有多个第二安装孔，多个所述第二安装孔沿所述第一端和所述第二端的连线方向间隔设置；所述测试座还包括防呆块，所述防呆块的一端通过所述第二安装孔与所述移动板可拆卸地连接在一起，所述防呆块的另一端位于相邻两所述第一安装孔之间。

在其中一些实施例中，每个所述第一安装孔内均设置有防呆柱，所述防呆块远离所述移动板的一端位于相邻两所述防呆柱之间。

在其中一些实施例中，所述测试座还包括设置在所述移动板上的调节部件，所述调节部件用于连接测试部件，所述调节部件可带动所述测试部件沿X、Y、Z三个方向移动。