[实用新型]晶圆辅助切割装置及晶圆压膜机

权利要求书

1.一种晶圆辅助切割装置，其特征在于，包括：

定位台；

轴承，所述轴承的外圈与所述定位台连接，所述轴承的内圈能够容纳晶圆；

载刀块，与所述轴承的内圈连接；以及

切刀组件，与所述载刀块连接，所述切刀组件包括用于切割所述晶圆边缘覆膜的切刀头。

2.根据权利要求1所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述晶圆辅助切割装置还包括：滑台和与所述滑台可滑动连接的滑块，所述滑台与所述载刀块连接，所述滑块与所述切刀组件连接，以带动所述切刀组件沿所述轴承的径向移动。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述切刀组件还包括：切刀座和切刀杆，所述切刀座与所述载刀块连接，所述切刀杆穿设在所述切刀座内，所述切刀杆的一端与所述切刀头连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述切刀组件还包括弹性部件，所述切刀杆的一端与所述切刀座连接，另一端设置有球头，所述球头与所述切刀座之间设置有所述弹性部件。

5.根据权利要求3所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述切刀组件还包括切刀护套，所述切刀护套套装在所述切刀杆上并且罩住所述切刀头。

6.根据权利要求5所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述切刀头伸出所述切刀护套的长度为3mm。

7.根据权利要求2所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述晶圆辅助切割装置还包括切刀调节组件，设置在所述载刀块上并且与所述滑块连接，用于驱动所述滑块以带动所述切刀组件沿所述轴承的径向移动。

8.根据权利要求7所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述切刀调节组件包括：支撑座、固定套管、微调螺杆、调节旋钮和连接部件，所述支撑座与所述滑台连接，所述固定套管与所述支撑座连接，所述微调螺杆穿设在所述固定套管内并与其通过螺纹配合，所述调节旋钮套装在所述固定套管的一端，所述微调螺杆的一端与所述调节旋钮连接，所述微调螺杆的另一端通过所述连接部件与所述滑块连接。

9.根据权利要求1所述的晶圆辅助切割装置，其特征在于，所述定位台上设置有定位凸起。

10.一种晶圆压膜机，其特征在于，包括：

工作台，用于承载晶圆；和

如权利要求1至9任一项所述的晶圆辅助切割装置，与所述工作台可拆卸连接，且所述晶圆辅助切割装置与晶圆同心布置。