[实用新型]一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置

权利要求书

1.一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于，包括：

真空转动轴，真空转动轴用于带动晶圆产品转动，真空转动轴内具有排气通道；

轴承，轴承转动装配在所述真空转动轴的外周；

轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道的一端连通所述排气通道，另一端用于连接抽吸装置；

磁性密封件，磁性密封件布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；

无磁性密封件，无磁性密封件布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件。

2.根据权利要求1所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述轴承安装体包括安装面板和安装筒，所述抽吸通道位于所述安装筒内，所述安装面板具有贯穿板厚的穿孔，所述穿孔供所述真空转动轴伸入，所述安装筒朝向所述安装面板的一端开口，所述安装筒背向所述安装面板的一端设置有封板，所述封板具有与所述穿孔相同中轴线的且贯穿板厚的过孔。

3.根据权利要求2所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述无磁性密封件数量为两个，分别布置在所述安装面板和所述封板内。

4.根据权利要求3所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述无磁性密封件为油封。

5.根据权利要求3或4所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述磁性密封件数量为两个，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的两侧各布置有一个所述磁性密封件，且每个所述磁性密封件位于所述抽吸通道和同侧的无磁性密封件之间。

6.根据权利要求5所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述轴承的个数为两个，每个磁性密封件与相邻的无磁性密封件之间设置一个所述轴承。

7.根据权利要求6所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述安装筒的内壁与所述真空转动轴之间夹装有套筒，所述套筒的内周设置有环形放置槽，所述环形放置槽内布置有所述磁性密封件，所述套筒的轴向两端均与对应的轴承之间具有间隔，该间隔内布置有调节环，所述轴承与所述无磁性密封件之间设置有限位环。

8.根据权利要求7所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述安装筒的筒壁插装有导气管，导气管内具有所述抽吸通道，所述套筒内设置有导气环，导气环与所述真空转动轴的中轴线相同，导气环的侧壁具有导气孔，所述排气通道包括竖直段和连通所述导气孔的水平段，所述抽吸通道通过所述导气孔连通所述排气通道，所述抽吸通道远离所述排气通道的一端安装有快速插头。

9.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述磁性密封件包括磁铁，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述磁铁的两侧各布置有一个磁极，两个磁极的磁性相反，每个磁极与所述真空转动轴之间的间隙内填充有磁流体。